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MOCVD ist ein kritischer Prozess für das Wachstum von Hochleistungshalbleiterschichten, die in LEDs, Lasern, 5G-Elektronik und fortschrittlichen Solarzellen verwendet werden.
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Erfahren Sie, wie der Kammerdruck in PECVD-Systemen die Schichtgleichmäßigkeit, die Abscheidungsrate, die Dichte und die Stufenbedeckung für eine optimale Dünnschichtabscheidung beeinflusst.
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