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PECVD arbeitet bei 200-400°C gegenüber 425-900°C bei LPCVD, was eine Niedertemperaturabscheidung für empfindliche Substrate und eine schnellere Fertigung ermöglicht.
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Erfahren Sie, wie die PECVD-Technologie einen überlegenen Schutz für die Elektronik von NEVs bietet und Stabilität, Lebensdauer und Sicherheit unter rauen Bedingungen verbessert.
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