CVD & PECVD Furnace

Dia-PECVD-Rohrofen mit Flüssigvergaser PECVD-Maschine

Name: Dia-PECVD-Rohrofen mit Flüssigvergaser PECVD-Maschine
Brand: Kintek Furnace
SKU: KT-PE12
Rating: 4.81 (19 reviews)

Artikelnummer : KT-PE12

Preis variiert je nach Spezifikationen und Anpassungen

Max. Temperatur: 1200℃
RF Plasma Ausgangsleistung: 5-500W
Nennvakuumdruck: 10Pa~6x10-4Pa

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Ermöglichen Sie die Präzisions-Dünnschichtabscheidung

Der KINTEK Slide-PECVD-Rohrofen mit Flüssigvergaser ist ein hochmodernes System, das für die vielseitige und leistungsstarke Dünnschichtabscheidung entwickelt wurde. Er wurde für die strengen Anforderungen der modernen Forschung und Produktion entwickelt und kombiniert eine 500-W-RF-Plasmaquelle, einen innovativen Ausschiebeofen für schnelle Temperaturwechsel, eine präzise Gasflusssteuerung und eine robuste Vakuumstation. Ob für Elektronik, Halbleiter, Optik oder fortgeschrittene Materialwissenschaft, dieses System liefert außergewöhnliche Ergebnisse und Zuverlässigkeit. KINTEK nutzt sein außergewöhnliches F&E-Know-how und seine eigene Fertigung, um fortschrittliche Ofenlösungen wie diese anzubieten, und bietet eine umfassende kundenspezifische Anpassung, um Ihre einzigartigen experimentellen Anforderungen genau zu erfüllen.

Hauptmerkmale und Vorteile

Die Slide PECVD Tube Furnace With Liquid Gasifier PECVD-Maschine bietet zahlreiche Vorteile zur Verbesserung Ihrer Forschung und Produktion:

Verbesserte Energieerzeugung: Die innovative Graphitbootstruktur verbessert die Leistungsabgabe von Solarzellenwafern erheblich.
Gleichmäßige Zellqualität: Eliminiert effektiv Farbunterschiede in röhrenförmigen PECVD-Zellen und gewährleistet so einheitliche Ergebnisse.
Vielseitige RF-Plasmaquelle: Verfügt über eine sich automatisch anpassende RF-Plasmaquelle mit einem breiten Leistungsbereich (5-500 W) für eine stabile und anpassbare Leistung bei verschiedenen Anwendungen.
Schneller thermischer Zyklus: Das Gleitsystem der Ofenkammer ermöglicht ein schnelles Aufheizen und Abkühlen, was die Bearbeitungszeit erheblich verkürzt. Eine zusätzliche Zwangsluftumwälzung beschleunigt die Abkühlung zusätzlich.
Automatisierter Betrieb: Die optionale automatische Schiebebewegung steigert die Effizienz und reduziert manuelle Eingriffe für rationelle Arbeitsabläufe.
Präzises Temperaturmanagement: Die programmierbare PID-Temperaturregelung gewährleistet eine genaue Temperaturregelung. Unterstützt Fern- und Zentralsteuerung für zusätzlichen Komfort und betriebliche Flexibilität.
Präzise Gassteuerung: Hochpräzise MFC-Massedurchflussmesser steuern die Quellgase präzise und gewährleisten eine stabile, gleichmäßige und vorgemischte Gasversorgung.
Leistungsstarkes Vakuumsystem: Der Edelstahl-Vakuumflansch mit mehreren Anpassungsanschlüssen ermöglicht verschiedene Konfigurationen von Vakuumpumpständen und gewährleistet einen hohen Vakuumgrad und eine zuverlässige Abdichtung.
Benutzerfreundliches Interface: Ausgestattet mit dem CTF Pro 7-Zoll-TFT-Touchscreen-Controller, der die Programmeinstellung und den Betrieb vereinfacht und eine einfache Analyse der historischen Daten ermöglicht.

Vielseitige Anwendungen

Die Slide PECVD Tube Furnace With Liquid Gasifier PECVD-Maschine ist ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, darunter:

Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)
Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
Dünnschichtabscheidung für verschiedene Materialien
Herstellung von Solarzellen und Forschung
Verarbeitung von Halbleitern
Forschung und Entwicklung im Bereich der Nanotechnologie
Fortgeschrittene materialwissenschaftliche Studien
Allgemeine Forschung und Entwicklung in kontrollierten Atmosphären

Entdecken Sie unsere Systemkonfigurationen

KINTEK bietet verschiedene CVD-Systemkonfigurationen für unterschiedliche experimentelle Anforderungen. Nachstehend finden Sie Beispiele für verfügbare Konfigurationen:

Dia PECVD-System mit Flüssigvergaser mit Komponenten: 1.Vakuumsensor 2.RF Plasma 3.Ofen 4.Entlastungsventil 5.Klappenventil 6.Heizband 7.Durchflussmesser 8.Flüssigvergaser 9.Gasstation 10.Kabine — Slide-PECVD-System mit Flüssigvergaser (Legende: 1.Vakuumsensor 2.RF-Plasma 3.Ofen 4.Entlastungsventil 5.Klappenventil 6.Heizband 7.Durchflussmesser 8.Flüssigvergaser 9.Gasstation 10.Kabine)

Slide-PECVD-Anlage mit geteilter Doppelrohrofenkonfiguration — Slide-PECVD-Anlage mit geteiltem Doppelrohrofen

Split-PECVD-System mit einem Rohr mit großem Durchmesser — Split-PECVD-Anlage mit großem Rohrdurchmesser

4-Kanal-Massendurchflussregler PECVD-Anlage mit Hochvakuumstation — 4-Kanal-MFC-PECVD-Anlage mit Hochvakuumstation

Funktionsprinzip

Die Slide-PECVD-Röhrenofen mit Flüssigvergasung PECVD-Anlage verwendet ein Niedertemperaturplasma zur Erzeugung einer Glimmentladung in der Kathode der Prozesskammer (Probenschale). Durch die Glimmentladung (oder eine andere Wärmequelle) wird die Temperatur der Probe auf ein vorgegebenes Niveau angehoben. Dann werden kontrollierte Mengen an Prozessgas eingeleitet, die durch chemische und Plasmareaktionen einen festen Film auf der Oberfläche der Probe bilden.

Eingebaute Sicherheitsvorteile

Schutz gegen Überstrom und Übertemperatur: Der Ofen ist mit einer Überstromschutz- und Übertemperaturalarmfunktion ausgestattet, die bei Überschreitung der Grenzwerte automatisch die Stromversorgung unterbricht.
Erkennung von Thermoelementfehlern: Eine eingebaute Thermoelement-Erkennungsfunktion unterbricht den Heizvorgang und löst einen Alarm aus, wenn ein defektes oder ausgefallenes Thermoelement erkannt wird, um ein unkontrolliertes Aufheizen zu verhindern.
Wiederanlauffunktion bei Stromausfall: Der PE Pro-Regler unterstützt eine Wiederanlauffunktion bei Stromausfall, die es dem Ofen ermöglicht, sein Heizprogramm automatisch wieder aufzunehmen, sobald die Stromversorgung nach einem Stromausfall wiederhergestellt ist.

Technische Daten

Modell des Ofens	KT-PE12-60
Max. Temperatur	1200℃
Konstante Arbeitstemperatur	1100℃
Material des Ofenrohrs	Hochreiner Quarz
Durchmesser des Ofenrohrs	60 mm
Länge der Heizzone	1x450mm
Material der Kammer	Japanische Tonerdefaser
Heizelement	Cr2Al2Mo2-Drahtschlange
Heizrate	0-20℃/min
Thermisches Paar	Eingebauter K-Typ
Temperaturregler	Digitaler PID-Regler/PID-Regler mit Touchscreen
Genauigkeit der Temperaturregelung	±1℃
Schiebeabstand	600mm
RF-Plasma-Gerät
Ausgangsleistung	5 -500W einstellbar mit ± 1% Stabilität
RF-Frequenz	13,56 MHz ±0,005% Stabilität
Reflexionsleistung	350W max.
Anpassung	Automatisch
Rauschen
Kühlung	Luftkühlung.
Gasgenaue Steuereinheit
Durchflussmesser	MFC-Massendurchflussmesser
Gas-Kanäle	4 Kanäle
Durchflussmenge	MFC1: 0-5SCCM O2 MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0- 100SCCM H2 MFC4: 0-500 SCCM N2
Linearität	±0,5% F.S.
Reproduzierbarkeit	±0,2% V.E.
Rohrleitung und Ventil	Rostfreier Stahl
Maximaler Betriebsdruck	0,45MPa
Steuerung des Durchflussmessers	Digitaler Drehknopf-Controller/Touchscreen-Controller
Standard-Vakuumeinheit (optional)
Vakuumpumpe	Drehschieber-Vakuumpumpe
Durchflussmenge der Pumpe	4L/S
Vakuum-Sauganschluss	KF25
Vakuummeter	Pirani/Resistance Silikon-Vakuummeter
Nennvakuumdruck	10Pa
Hochvakuumeinheit (optional)
Vakuumpumpe	Drehschieberpumpe+Molekularpumpe
Durchflussmenge der Pumpe	4L/S+110L/S
Vakuum-Sauganschluss	KF25
Vakuummeter	Zusammengesetztes Vakuummeter
Nennvakuumdruck	6x10-4Pa
Die oben genannten Spezifikationen und Konfigurationen können angepasst werden

Standard-Paketinhalt

Nr.	Beschreibung	Menge
1	Ofen	1
2	Quarzrohr	1
3	Vakuumflansch	2
4	Thermoblock der Röhre	2
5	Rohr Thermoblockhaken	1
6	Hitzebeständiger Handschuh	1
7	RF-Plasmaquelle	1
8	Präzise Gassteuerung	1
9	Vakuumeinheit	1
10	Betriebsanleitung	1

Kundenspezifische Anpassungen und optionale Konfigurationen

Wir bei KINTEK sind stolz auf unsere ausgeprägte Fähigkeit zur kundenspezifischen Anpassung. Wir können den Slide-PECVD-Rohrofen genau an Ihre individuellen experimentellen Anforderungen anpassen. Zu den verfügbaren optionalen Ausstattungen gehören:

Gasdetektion und -überwachung im Rohr (z. B. H2, O2)
Unabhängige Systeme zur Überwachung und Aufzeichnung der Ofentemperatur
RS 485-Kommunikationsanschluss für PC-Fernsteuerung und Datenexport
Kundenspezifische Durchflussregelung der Gaszufuhr (Massedurchflussmesser oder Schwebekörper-Durchflussmessgeräte)
Moderner Temperaturregler mit Touchscreen und vielseitigen, bedienerfreundlichen Funktionen
Verschiedene Hochvakuum-Pumpstände (z. B. Flügelzellen-Vakuumpumpe, Molekularpumpe, Diffusionspumpe)

Partnerschaft mit KINTEK für Ihren Bedarf an modernen Öfen

Der Slide-PECVD-Rohrofen von KINTEK ist auf Anpassungsfähigkeit und hohe Leistung ausgelegt. Wir wissen, dass Ihre Forschung einzigartig ist. Nutzen Sie unsere umfangreichen Anpassungsmöglichkeiten, um dieses System genau auf Ihre Anforderungen zuzuschneiden. Ganz gleich, ob Sie andere Temperaturbereiche, spezielle Gaskonfigurationen, fortschrittliche Steuerungsfunktionen oder spezielle Vakuumeinstellungen benötigen, unser Expertenteam steht Ihnen zur Seite.

Sind Sie bereit, Ihre Forschung oder Produktion zu verbessern? Besprechen Sie Ihre Anforderungen mit unseren Experten und lassen Sie sich ein individuelles Angebot erstellen. Bitte füllen Sie unser Kontaktformular aus aus, und einer unserer Spezialisten wird sich in Kürze mit Ihnen in Verbindung setzen, um Ihnen bei der Konfiguration der perfekten PECVD-Lösung zu helfen!

FAQ

Was Ist Ein Rohrofen Und Wie Funktioniert Er?

Ein Rohrofen ist ein Heizgerät, das Wärme durch eine Wärmequelle erzeugt und diese Wärme über das Ofenrohr auf das Werkstück oder das Medium überträgt. Er bietet eine stabile und gleichmäßige Erwärmung, die für verschiedene industrielle Anwendungen geeignet ist. Das Temperaturregelungssystem überwacht die Ofentemperatur mit Hilfe von Thermoelementen oder anderen Sensoren und leitet das Signal an den Regler zurück, der die Leistung der Heizelemente anpasst, um eine präzise Temperaturregelung zu gewährleisten.

Was Sind Die Hauptanwendungen Von Mehrzonen-Rohröfen?

Mehrzonen-Rohröfen werden in verschiedenen kommerziellen und Forschungsanwendungen eingesetzt, z. B. in der Halbleiter- und Batterieproduktion, bei der Herstellung von Thermoelementen und mineralisolierten Kabeln, beim Vakuumlöten und bei der Wärmebehandlung, beim Aushärten und Sintern im Vakuum, bei Wasser-/Abfall-/Bodentests, bei der Prüfung von Keramiken und Metallen in der Luft- und Raumfahrt, bei der Öl- und Gasanalyse, bei Festoxid-Brennstoffzellen und bei der Herstellung von Polymerverbundstoffen/Graphen. Sie werden auch für die Wärmebehandlung von Metallen (Härten, Anlassen, Glühen), das Vorwärmen für das Schweißen, das Sintern von Keramik/Pulvermetallurgie, die Behandlung von Beschichtungen und Experimente in der Materialforschung eingesetzt.

Was Ist Das Prinzip Einer CVD-Anlage?

Beim Prinzip der chemischen Gasphasenabscheidung (Chemical Vapor Deposition, CVD) wird der Dampf gasförmiger oder flüssiger Reaktanten, die Filmelemente und andere notwendige Gase enthalten, in eine Reaktionskammer eingeleitet. Durch Zufuhr von Energie in Form von erhöhter Temperatur, Plasmaeinwirkung, Lichtstrahlung oder anderen Mitteln kommt es auf der Substratoberfläche zu chemischen Reaktionen, bei denen neue feste Stoffe entstehen, die sich als dünne Schichten abscheiden. Das Funktionsprinzip eines CVD-Ofens besteht darin, dass Vorläufergase in die Ofenkammer eingeleitet werden, wo diese Gase bei hohen Temperaturen in der Nähe der Substratoberfläche reagieren oder sich zersetzen. Das gewünschte Material scheidet sich als fester Film auf dem Substrat ab, während Nebenprodukte und ungenutzte Gase durch ein Abluft- oder Vakuumsystem abgeleitet werden.

Was Sind Die Häufigsten Anwendungen Eines Geteilten Rohrofens?

Rohrspaltöfen werden häufig für Materialprüfungen (z. B. Zugversuche), die Pyrolyse organischer Materialien, die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) zur Abscheidung dünner Schichten, die Graphitierung kohlenstoffhaltiger Materialien und das Sintern von Keramik verwendet. Diese Anwendungen profitieren von der präzisen Temperaturregelung und der einfachen Probenhandhabung, die die geteilten Rohröfen bieten.

Was Ist Ein Vertikalrohrofen?

Ein Vertikalrohrofen ist ein Hochtemperaturheizgerät, das in vertikaler Ausrichtung konstruiert ist und eine präzise Temperaturregelung, gleichmäßige Erwärmung und effiziente Energienutzung bietet. Seine vertikale Bauweise ist platzsparend und besonders nützlich für Prozesse, die von einer vertikalen Aufstellung profitieren.

Was Sind Die Hauptanwendungen Von Rohröfen?

Rohröfen sind weit verbreitet für Gasabschreckversuche unter Vakuum oder atmosphärischen Bedingungen, Wärmebehandlungsanwendungen einschließlich Synthesen und Reinigungen, Oxidation, Diffusion, Kalzinierung und thermisches Glühen von anorganischen oder organischen Verbindungen. Sie werden auch bei der Materialprüfung, der thermischen Verarbeitung und bei chemischen Reaktionen eingesetzt, wenn kontrollierte Heiz- und Kühlraten erforderlich sind. Vertikale Rohröfen eignen sich besonders für Prozesse, bei denen die Proben von oben in den Ofen fallen müssen.

Was Sind Die Wichtigsten Merkmale Von Mehrzonen-Rohröfen?

Die wichtigsten Merkmale sind: 1) Flexible Möglichkeiten zum Glühen und chemischen Aufdampfen, 2) Aufnahme von Proben bis zu 60 mm (2 Zoll), 3) Eingebauter Verteiler für einfache Gaszufuhr, 4) Natürliche Temperaturgradienten mit kühleren Enden und gleichmäßiger Erwärmung in der Mitte, 5) Anpassungsfähigkeit an verschiedene Gase oder Vakuumbedingungen und 6) Mehrere unabhängig voneinander gesteuerte Heizzonen für präzise Temperaturprofile.

Welche Vorteile Bietet Die Verwendung Einer CVD-Anlage?

Das CVD-Verfahren bietet eine hohe Reinheit, Gleichmäßigkeit und Konformität, so dass es sich für die Beschichtung komplexer Geometrien eignet. Es wird in Branchen wie der Halbleiterindustrie, der Luft- und Raumfahrt und der Biomedizin eingesetzt. Im Gegensatz zu PVD ist CVD nicht auf die Sichtlinie beschränkt, und die Beschichtung verbindet sich während der Reaktion mit der Oberfläche, wodurch eine hervorragende Haftung entsteht.

Was Sind Die Wichtigsten Merkmale Eines Spaltrohrofens?

Ein geteilter Rohrofen bietet in der Regel Optionen für 1, 2, 3 oder 5 beheizte Zonen, mit einer beheizten Länge von 200-600 mm und einem beheizten Durchmesser von 40-100 mm. Er verfügt über eine zweischichtige Zwangskühlung, um eine sichere Gehäusetemperatur zu gewährleisten, und verwendet eine Heizschlange als Heizquelle, die Temperaturen von bis zu 1200 °C erreichen kann. Der Ofen besteht aus einem zylindrischen Rohr, das in Längsrichtung geteilt ist, oft in zwei Hälften, die mit Scharnieren verbunden sind, und ist mit pneumatischen Dämpfungsstützen für einen reibungslosen Betrieb ausgestattet.

Was Sind Die Anwendungen Eines Vertikalrohrofens?

Vertikalrohröfen werden häufig für Materialprüfungen, thermische Prozesse und chemische Reaktionen eingesetzt, die eine kontrollierte Aufheiz- und Abkühlgeschwindigkeit erfordern. Sie werden auch in der Chemietechnik zur Herstellung von Kunstharzen, Gummi, Farben und Farbstoffen, in der Lebensmittelindustrie zum Backen, Trocknen und Sterilisieren sowie in der Metallurgie für Schmelz- und Wärmebehandlungsprozesse eingesetzt.

Welche Vorteile Bietet Der Einsatz Eines Rohrofens?

Rohröfen bieten eine Reihe von Vorteilen: ausgereifte Technologie, einfache Ofenstruktur, geringer Energieverbrauch, hoher thermischer Wirkungsgrad, einfache Bedienung und Steuerung, Fähigkeit zur kontinuierlichen Produktion, präzise Temperaturregelung, gleichmäßige Temperaturverteilung und Anpassungsfähigkeit an unterschiedliche Atmosphären. Außerdem ermöglichen sie eine höhere Ausbeute an Produkten, eine hohe Produktkonzentration und die Möglichkeit, den größten Teil des Spalt- und Rauchgases zurückzugewinnen. Für eine großtechnische Produktion können mehrere Öfen kombiniert werden.

Wie Funktioniert Ein Mehrzonen-Rohrofen?

Ein Mehrzonen-Rohrofen funktioniert wie folgt: 1) Erzeugung von Wärme durch mehrere unabhängig voneinander geregelte Heizelemente, 2) gleichmäßige Übertragung dieser Wärme durch das Ofenrohr auf das Werkstück, 3) Schaffung entweder präziser Temperaturgradienten (für Prozesse wie CVD-Schichtwachstum) oder ausgedehnter Zonen mit konstanter Temperatur (wenn mehrere Zonen auf dieselbe Temperatur eingestellt sind) und 4) Aufrechterhaltung stabiler Heizbedingungen, die für verschiedene industrielle Prozesse geeignet sind.

Was Sind Die Anwendungen Einer CVD-Maschine?

CVD wird für verschiedene Anwendungen eingesetzt, darunter die Herstellung von Halbleiterbauelementen (z. B. Isolierschichten aus Siliziumnitrid), optischen Beschichtungen, Schutzschichten und modernen Materialien wie Graphen und Kohlenstoff-Nanoröhren, die einzigartige elektrische, thermische und mechanische Eigenschaften aufweisen. Es wird auch eingesetzt, um konforme Schichten abzuscheiden und Substratoberflächen auf eine Weise zu verändern, die mit herkömmlichen Techniken nicht möglich ist. Zu den Anwendungen gehören die Abscheidung von Atomschichten, integrierte Schaltkreise, photovoltaische Geräte, verschleißfeste Beschichtungen, Polymerbeschichtungen mit besonderen Eigenschaften, metallorganische Gerüste für die Gassensorik und Membranbeschichtungen für die Wasseraufbereitung.

Wie Funktioniert Ein Spaltrohrofen?

Ein Spaltrohrofen funktioniert durch die Erzeugung von Wärme durch eine Heizspirale, die diese Wärme an das Werkstück oder das Medium im Inneren des Ofenrohrs überträgt. Dieses Verfahren gewährleistet eine stabile und gleichmäßige Erwärmung und eignet sich daher für verschiedene Industrie- und Laboranwendungen. Der Ofen kann mit mehreren Heizzonen konfiguriert werden und verfügt über Funktionen wie Zwangsluftkühlung, um sichere Außentemperaturen zu gewährleisten.

Was Sind Die Vorteile Eines Vertikalrohrofens?

Vertikalrohröfen bieten mehrere Vorteile, darunter eine geringere Stellfläche im Vergleich zu Horizontalöfen, was sie ideal für Labors mit begrenztem Platzangebot macht. Außerdem bieten sie einen effizienten und energiesparenden Betrieb, eine präzise Temperaturregelung, Flexibilität im Einsatz, einfache Bedienung, Sicherheit, Zuverlässigkeit und die Einhaltung von Umweltstandards.

Welche Arten Von Rohröfen Gibt Es?

Es gibt verschiedene Arten von Rohröfen, z. B. Labor-Quarzrohröfen, Drehrohröfen mit geteilter Heizzone, Mehrzonen-Rohröfen, Hochtemperatur-Rohröfen (bis zu 1700 °C), PECVD-Rohröfen für die Dünnschichtabscheidung, Vakuumrohröfen und Vertikalrohröfen. Diese Öfen verfügen über verschiedene Merkmale wie Schnellaufheizung, einstellbare Neigung, 360°-Drehung, anpassbare Heizzonen und Vakuumbereitschaft, um verschiedenen Anwendungen gerecht zu werden.

Welche Vorteile Bietet Der Einsatz Eines Mehrzonen-Rohrofens?

Zu den Vorteilen gehören: 1) Ausgereifte, zuverlässige Technologie mit einfacher Ofenstruktur, 2) Geringer Stromverbrauch mit hohem thermischen Wirkungsgrad, 3) Einfache Bedienung und präzise Steuerung, 4) Fähigkeit zur kontinuierlichen Produktion, 5) Möglichkeit zur Schaffung ausgedehnter gleichmäßiger Heizzonen oder präziser Temperaturgradienten, 6) Höhere Produktausbeute bei chemischen Prozessen, 7) Möglichkeit zur Rückgewinnung von Prozessgasen, 8) Breite Anwendbarkeit von Rohstoffen und 9) Skalierbarkeit durch Kombination von Öfen für die Großproduktion.

Was Sind Die Wichtigsten Merkmale Einer CVD-Anlage?

Zu den wichtigsten Merkmalen eines CVD-Ofens gehören hohe Temperaturen (in der Regel von 200 °C bis über 1500 °C), eine präzise Steuerung des Gasflusses, eine kontrollierte Atmosphäre (Vakuum, Atmosphärendruck oder Niederdruck), eine gleichmäßige Erwärmung für eine gleichmäßige Dünnschichtabscheidung und ein effizientes Abgassystem zur Entfernung von Nebenprodukten und nicht umgesetzten Gasen. Zu den wichtigsten Merkmalen eines CVD-Beschichtungsprozesses gehört die Anwendung bei erhöhten Temperaturen, um die Reaktion zu erleichtern, in der Regel unter Vakuum. Verunreinigungen müssen vor der Beschichtung von der Oberfläche des Teils entfernt werden.

Was Sind Die Vorteile Eines Geteilten Rohrofens?

Zu den Hauptvorteilen eines geteilten Rohrofens gehören das vereinfachte Be- und Entladen von Proben oder Geräten, geringere Betriebsausfallzeiten und eine höhere Effizienz. Die geteilte Bauweise ermöglicht einen schnellen Zugang zum Ofenraum, was besonders bei Anwendungen von Vorteil ist, die häufige Wechsel oder komplizierte Versuchsaufbauten erfordern. Darüber hinaus verbessern Merkmale wie pneumatische Dämpfungsstreben und mehrere Heizzonen die Benutzerfreundlichkeit und Leistung weiter.

Wie Funktioniert Ein Vertikalrohrofen?

Ein Vertikalrohrofen erzeugt Wärme durch eine Wärmequelle und überträgt diese Wärme über das Ofenrohr auf das erwärmte Werkstück oder Medium. Dieses Verfahren gewährleistet eine stabile und gleichmäßige Erwärmung und ist daher für verschiedene industrielle Anwendungen geeignet.

Welche Temperaturbereiche Können Rohröfen Erreichen?

Rohröfen sind in verschiedenen Temperaturbereichen erhältlich, die für unterschiedliche Anwendungen geeignet sind. Standardmodelle erreichen in der Regel bis zu 1200°C, während Hochtemperaturmodelle 1400°C bis 1700°C erreichen können. Einige Spezialmodelle können sogar bis zu 2000°C erreichen. Die Temperaturkapazität hängt von den verwendeten Heizelementen und Ofenrohrmaterialien (wie Quarz oder Aluminiumoxid) ab.

Welche Arten Von Mehrzonen-Rohröfen Gibt Es?

Zu den verfügbaren Typen gehören: 1) Drehrohröfen mit mehreren Heizzonen (mit Kipp- und Rotationsmöglichkeiten), 2) Labor-Quarzrohröfen (bis 1700 °C mit 1-10 Zonen), 3) Öfen für die schnelle thermische Verarbeitung (RTP) mit hohen Heizraten, 4) CVD-Rohröfen für die chemische Gasphasenabscheidung, 5) PECVD-Öfen für plasmaunterstützte Prozesse, 6) Vakuumrohröfen und 7) Hochdruckrohröfen. Diese Öfen gibt es in verschiedenen Konfigurationen mit anpassbaren Zonenzahlen, Temperaturbereichen und besonderen Merkmalen wie Vakuum-/Atmosphärensteuerung.

Welche Arten Von CVD-Anlagen Gibt Es?

Es gibt verschiedene Arten von CVD-Anlagen, darunter zylindrische Resonator-MPCVD-Maschinensysteme für das Diamantwachstum im Labor, maßgeschneiderte, vielseitige CVD-Röhrenöfen für die chemische Gasphasenabscheidung, PECVD-Röhrenöfen mit Flüssigkeitsbegasern, Vakuum-Heißpressenöfen, geneigte Rotations-Röhrenöfen für die plasmaunterstützte chemische Abscheidung (PECVD), CVD-Röhrenöfen mit geteilter Kammer und Vakuumstationen sowie RF-PECVD-Systeme für die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung im Hochfrequenzbereich. Jeder Typ ist für bestimmte Anwendungen konzipiert und bietet einzigartige Merkmale.

Welche Temperatur Kann Ein Spaltrohrofen Erreichen?

Ein Spaltrohrofen kann eine Höchsttemperatur von 1200 °C erreichen und eignet sich daher für Hochtemperaturanwendungen wie Materialsynthese, CVD und Sintern. Der Ofen verwendet eine Heizschlange als Wärmequelle und verfügt über eine zweischichtige Zwangsluftkühlung, um während des Betriebs sichere Außentemperaturen aufrechtzuerhalten.

Welche Arten Von Vertikalrohröfen Gibt Es?

Vertikalrohröfen gibt es in verschiedenen Ausführungen, z. B. mit einer oder mehreren Heizzonen, mit der Möglichkeit der schnellen thermischen Verarbeitung (RTP), mit Vakuumstationen und mit anpassbaren Lösungen für spezielle Laboranforderungen wie CVD (Chemical Vapor Deposition) und PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition).

Können Rohröfen Unter Verschiedenen Atmosphären Betrieben Werden?

Ja, Rohröfen sind vielseitig und können unter verschiedenen Atmosphären betrieben werden, darunter Luft, Inertgase (wie Argon oder Stickstoff), Vakuum und spezielle Gasgemische. Dadurch eignen sie sich für eine Vielzahl von Verfahren wie Oxidation, Reduktion, Glühen und chemische Gasphasenabscheidung (CVD). Viele Modelle sind vakuumtauglich und verfügen über Gasregelsysteme für ein präzises Atmosphärenmanagement.

Warum Ist Das Geteilte Design In Einem Rohrofen Von Vorteil?

Die geteilte Bauweise eines Rohrofens ist vorteilhaft, weil sie einen schnellen und einfachen Zugang zur Ofenkammer ermöglicht. Diese Konstruktion, die häufig aus zwei aufklappbaren Hälften mit pneumatischen Dämpfungsstreben besteht, vereinfacht die Handhabung komplexer Aufbauten oder großer Proben, verringert die Ausfallzeiten und erhöht die Gesamteffizienz, insbesondere bei Anwendungen, die häufige Änderungen oder komplizierte Konfigurationen erfordern.

Warum Sollte Man Einen Vertikalen Rohrofen Einem Horizontalen Ofen Vorziehen?

Ein vertikaler Rohrofen wird in erster Linie wegen seiner platzsparenden Bauweise und der Möglichkeit, schwerkraftunterstützte Prozesse zu nutzen, einem horizontalen Ofen vorgezogen. Der vertikale Aufbau kann zu einer gleichmäßigen Wärme- und Materialverteilung beitragen, was ihn für bestimmte Experimente oder Fertigungsprozesse ideal macht.

Was Macht KINTEK-Röhrenöfen So Besonders?

KINTEK-Röhrenöfen zeichnen sich durch ihre präzise Temperaturregelung (einige Modelle bieten eine schnelle Aufheizung von bis zu 100 °C/s), anpassbare Heizzonen (von 1 bis 10 Zonen), vakuumtaugliche Konstruktionen und Sicherheitszertifizierungen aus. Sie bieten vielseitige Lösungen für fortschrittliche Anwendungen wie Materialsynthese, CVD, Sintern und Halbleiterforschung, mit Optionen für Rotationsmechanismen, geteilte Kammern und plasmagestützte Konfigurationen.

Welche Temperaturbereiche Können Mit Vertikalrohröfen Erreicht Werden?

Vertikale Rohröfen können hohe Temperaturen erreichen, je nach Modell und Konfiguration typischerweise bis zu 1800°C. Sie sind für die Präzisionserwärmung ausgelegt und können an spezifische Temperaturanforderungen für verschiedene Anwendungen angepasst werden.

Sind Vertikalrohröfen Anpassbar?

Ja, Vertikalrohröfen sind in hohem Maße anpassbar. Sie können mit Merkmalen wie mehreren Heizzonen, Schnellheizfunktionen, Vakuumsystemen und speziellen Atmosphärensteuerungen auf die besonderen Anforderungen verschiedener Forschungs- und Industrieanwendungen zugeschnitten werden.

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Was Ist Ein Rohrofen Und Wie Funktioniert Er?

Was Sind Die Hauptanwendungen Von Mehrzonen-Rohröfen?

Was Ist Das Prinzip Einer CVD-Anlage?

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Was Ist Ein Vertikalrohrofen?

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