CVD & PECVD Furnace
CVD-Rohrofenmaschine mit mehreren Heizzonen für die chemische Gasphasenabscheidung
Artikelnummer : KT-CTF14
Preis variiert je nach Spezifikationen und Anpassungen
- Max. Temperatur
- 1400℃
- Heizzone
- 2x450mm
- Genauigkeit der Temperaturregelung
- ±1℃
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Entdecken Sie die fortschrittlichen Mehrzonen-CVD-Röhrenöfen von KINTEK
KINTEK setzt auf außergewöhnliche Forschung und Entwicklung und eigene Fertigung, um verschiedene Labore mit fortschrittlichen Hochtemperatur-Ofenlösungen zu versorgen. Unsere Mehrzonen-CVD-Röhrenöfen sind auf Präzision, Zuverlässigkeit und Anpassungsfähigkeit ausgelegt und unterstützen Ihre Forschungs- und Produktionsprozesse.
Produktvorstellung: Multi-Heizzonen-CVD-Rohrofen
Schematische Darstellung des typischen Aufbaus der Reaktionskammer einer rohrförmigen PECVD-Anlage 1. Auslassöffnung;2. Endflansch;3. Flansch zur Wasserkühlung des Hecks;4. Heckabdichtungsflansch;5. Heckbefestigungsflansch;6. Elektrodenstab;7. Graphitboot;8. Quarz-Ofenrohr;9. Vorderer Befestigungsflansch;10. Vorderer Wasserkühlungsflansch;11. Vorderer Lufteinlassflansch;12. Ofentür
Was ist ein Multi-Zonen-CVD-Rohrofen?
Ein Mehrzonen-CVD-Rohrofen (Chemical Vapor Deposition) ist eine spezielle Laborausrüstung für die Abscheidung dünner Schichten auf Substraten durch chemische Reaktionen von Gasen oder Dämpfen. Der entscheidende Vorteil der "Multizonen"-Konstruktion liegt in den mehreren, unabhängig voneinander gesteuerten Heizzonen. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung des Temperaturprofils innerhalb des Ofens, ein entscheidender Faktor für viele CVD-Prozesse, da die Temperatur die Eigenschaften der abgeschiedenen Schicht direkt beeinflusst. Diese Öfen sind sowohl für die Spitzenforschung und -entwicklung als auch für anspruchsvolle Produktionsanwendungen unverzichtbar.
Warum sollten Sie sich für KINTEKs Multi-Zone-CVD-Öfen entscheiden?
Die Mehrzonen-CVD-Röhrenöfen von KINTEK sind so konstruiert, dass sie überragende Leistung und Anpassungsfähigkeit für Ihre kritischen Prozesse bieten. Im Folgenden erfahren Sie, wie wir Ihre Arbeit unterstützen:
- Unerreichte Temperaturpräzision: Unabhängige Heizzonen ermöglichen die Erzeugung ausgedehnter konstanter Temperaturfelder oder präzise gesteuerter Temperaturgradienten, die für eine gleichmäßige Abscheidung und spezielle Materialsynthese unerlässlich sind.
- Fortschrittliche Prozesssteuerung: Die programmierbare PID-Temperaturregelung gewährleistet eine hervorragende Genauigkeit. In Verbindung mit der Möglichkeit der Fern- und Zentralsteuerung profitieren Sie von Flexibilität und einfacher Überwachung.
- Stabile und genaue Gaszufuhr: Hochpräzise MFC-Massedurchflussmesser (Mass Flow Controller) sorgen für präzise und stabile Gaszufuhrgeschwindigkeiten, einschließlich Optionen zur Vormischung von Quellgasen, die für eine gleichbleibende Filmqualität unerlässlich sind.
- Zuverlässige Hoch-Vakuum-Umgebung: Robuste Edelstahl-Vakuumflansche mit verschiedenen Anpassungsanschlüssen gewährleisten eine hervorragende Abdichtung und sorgen für das Erreichen und Aufrechterhalten des für empfindliche CVD-Prozesse erforderlichen hohen Vakuums.
- Benutzerfreundlicher Betrieb und Datenanalyse: Ausgewählte Modelle, wie der KT-CTF14 Pro, sind mit einem 7-Zoll-TFT-Touchscreen ausgestattet, der die Programmeinstellung vereinfacht und eine einfache Analyse der historischen Daten ermöglicht.
- Vielseitigkeit für unterschiedliche Anwendungen: Unsere Öfen sind nicht auf CVD beschränkt; sie eignen sich auch ideal für Diffusion, Glühen, Sintern und andere Thermobehandlungen unter Vakuum oder kontrollierter Atmosphäre.
- Energieeffiziente Konstruktion: Unsere Öfen sind mit einer hochwertigen Keramikfaserisolierung und einer doppelschichtigen Struktur ausgestattet, die Wärmeverluste minimieren, die Außentemperaturen senken und Energie sparen.
- Langlebige und anpassbare Materialien: Die Ofenrohre sind aus verschiedenen Materialien wie hitzebeständigem Stahl, hochreinem Quarzglas und Keramik erhältlich, um verschiedenen chemischen Umgebungen und Temperaturanforderungen gerecht zu werden.
Funktionsprinzip
Der CVD-Rohrofen mit mehreren Heizzonen nutzt das Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD), um dünne Schichten auf Substrate aufzubringen. Gasförmige Ausgangsstoffe, in der Regel metallorganische Verbindungen und/oder Hydride, werden in die Ofenkammer eingeleitet. Diese Vorstufen reagieren bei kontrollierten Temperaturen chemisch und bilden auf dem Substrat ein festes Schichtmaterial. Die mehreren Heizzonen des Ofens ermöglichen eine präzise Steuerung der Abscheidetemperatur und des Temperaturgradienten über dem Substrat, so dass hochwertige Schichten mit maßgeschneiderten Eigenschaften wie Dicke, Zusammensetzung und Kristallinität abgeschieden werden können. Ein integriertes Vakuumsystem entfernt Verunreinigungen und steuert den Abscheidungsdruck, um optimale Prozessbedingungen zu gewährleisten.
Anwendungen
Unsere CVD-Röhrenöfen mit mehreren Heizzonen werden in verschiedenen fortschrittlichen Bereichen eingesetzt, darunter:
- Chemische Gasphasenabscheidung (CVD): Wachstum von Dünnschichten für elektronische Geräte, Halbleiter, Solarzellen, Beschichtungen und Nanomaterialien.
- Diffusion: Präzise Dotierung von Halbleitern und Metallen.
- Ausglühen: Wärmebehandlung von Materialien zur Verbesserung ihrer strukturellen und physikalischen Eigenschaften.
- Sintern: Verbinden von pulverförmigen Werkstoffen durch kontrollierte Hitze und Druck, um feste Strukturen zu bilden.
- Thermobehandlungen: Ein breites Spektrum kontrollierter Erwärmungs- und Abkühlungsprozesse für die Materialforschung und -modifikation.
- Elementanalyse und -bestimmung: Vorbereitung von Proben für analytische Zwecke.
- Materialverarbeitung: Abschrecken, Glühen und Anlassen von kleinen Stahlteilen, Entwicklung von Elektronikkeramik und anderen neuen Materialien.
Technische Daten
| Modell des Ofens | KT-CTF14-60 |
|---|---|
| Max. Temperatur | 1400℃ |
| Konstante Arbeitstemperatur | 1300℃ |
| Material des Ofenrohrs | Hochreines Al2O3-Rohr |
| Durchmesser des Ofenrohrs | 60 mm |
| Heizzone | 2x450mm |
| Material der Kammer | Polykristalline Tonerde-Faser |
| Heizelement | Siliziumkarbid |
| Heizrate | 0-10℃/min |
| Thermisches Paar | Typ S |
| Temperaturregler | Digitaler PID-Regler/PID-Regler mit Touchscreen |
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±1℃ |
| Präzise Gasregelungseinheit | |
| Durchflussmesser | MFC-Massendurchflussmesser |
| Gas-Kanäle | 4 Kanäle |
| Durchflussmenge |
MFC1: 0-5SCCM O2
MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0- 100SCCM H2 MFC4: 0-500 SCCM N2 |
| Linearität | ±0,5% F.S. |
| Reproduzierbarkeit | ±0,2% V.E. |
| Rohrleitung und Ventil | Rostfreier Stahl |
| Maximaler Betriebsdruck | 0,45MPa |
| Steuerung des Durchflussmessers | Digitaler Drehknopf-Controller/Touchscreen-Controller |
| Standard-Vakuumeinheit (optional) | |
| Vakuumpumpe | Drehschieber-Vakuumpumpe |
| Durchflussmenge der Pumpe | 4L/S |
| Vakuum-Sauganschluss | KF25 |
| Vakuummeter | Pirani/Resistance Silikon-Vakuummeter |
| Nennvakuumdruck | 10Pa |
| Hochvakuumeinheit (optional) | |
| Vakuumpumpe | Drehschieberpumpe+Molekularpumpe |
| Durchflussmenge der Pumpe | 4L/S+110L/S |
| Vakuum-Sauganschluss | KF25 |
| Vakuummeter | Zusammengesetztes Vakuummeter |
| Nennvakuumdruck | 6x10-5Pa |
| Die oben genannten Spezifikationen und Konfigurationen können angepasst werden | |
Standard-Paket
| Nr. | Beschreibung | Menge |
|---|---|---|
| 1 | Ofen | 1 |
| 2 | Quarzrohr (oder anderes Material gemäß Bestellung) | 1 |
| 3 | Vakuumflansch-Set | 2 |
| 4 | Thermoblock Rohr | 2 |
| 5 | Rohr Thermoblockhaken | 1 |
| 6 | Hitzebeständiger Handschuh | 1 |
| 7 | Präzises Gassteuergerät (falls bestellt) | 1 |
| 8 | Vakuumeinheit (falls bestellt) | 1 |
| 9 | Betriebsanleitung | 1 |
Maßgeschneiderte Lösungen für Ihre einzigartigen Bedürfnisse
KINTEK zeichnet sich dadurch aus, dass es maßgeschneiderte Ofenlösungen anbietet, die genau auf Ihre individuellen Versuchs- und Produktionsanforderungen zugeschnitten sind. Über unsere Standardkonfigurationen hinaus bieten wir eine breite Palette optionaler Konfigurationen und Modifikationen an:
- Gaserkennung und -überwachung im Rohr (z. B. H2, O2).
- Unabhängige Systeme zur Überwachung und Aufzeichnung der Ofentemperatur.
- RS 485-Kommunikationsanschluss für PC-Fernsteuerung und Datenexport.
- Vielseitige Optionen für die Durchflussregelung der Gaszufuhr, einschließlich verschiedener Massedurchflussmesser und Schwebekörper-Durchflussmessgeräte.
- Moderne Touchscreen-Temperaturregler mit benutzerfreundlichen Schnittstellen und umfangreichen Programmiermöglichkeiten.
- Umfassende Hochvakuum-Pumpstände mit Flügelzellen-Vakuumpumpen, Molekularpumpen, Diffusionspumpen und mehr.
- Kundenspezifische Ofenabmessungen, Heizzonenkonfigurationen und Materialauswahl.
Nennen Sie uns Ihre Herausforderung, und wir entwickeln die Lösung.
Partnerschaft mit KINTEK für Ihre Hochtemperaturlösungen
KINTEK verfügt über eine solide Grundlage in Forschung und Entwicklung sowie eine eigene Fertigung und beliefert Labore weltweit mit fortschrittlichen Hochtemperatur-Ofensystemen, darunter Muffelöfen, Rohrofen, Drehrohröfen, Vakuum- und Atmosphärenöfen sowie spezielle CVD/PECVD/MPCVD-Systeme. Unser Engagement für eine umfassende Anpassung stellt sicher, dass Sie einen Ofen erhalten, der perfekt auf Ihre spezifischen Versuchsziele zugeschnitten ist.
Sind Sie bereit, Ihre Materialverarbeitungs- und Forschungsmöglichkeiten zu verbessern? Besprechen Sie Ihre Anforderungen mit unserem Expertenteam.
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Vertraut von Branchenführern
FAQ
Was Ist Ein Rohrofen Und Wie Funktioniert Er?
Was Sind Die Hauptanwendungen Von Mehrzonen-Rohröfen?
Was Ist Ein Vertikalrohrofen?
Was Ist Ein Vakuum-Induktionsofen?
Was Sind Die Hauptanwendungen Eines Vakuumofens?
Wofür Wird Ein Atmosphärenofen Verwendet?
Was Sind Die Hauptanwendungen Von Rohröfen?
Was Sind Die Wichtigsten Merkmale Von Mehrzonen-Rohröfen?
Was Sind Die Anwendungen Eines Vertikalrohrofens?
Was Sind Die Wichtigsten Anwendungen Von Vakuum-Induktionsöfen?
Was Sind Die Wichtigsten Merkmale Eines Vakuumofens?
Was Sind Die Wichtigsten Merkmale Eines Atmosphärenofens?
Welche Vorteile Bietet Der Einsatz Eines Rohrofens?
Wie Funktioniert Ein Mehrzonen-Rohrofen?
Was Sind Die Vorteile Eines Vertikalrohrofens?
Wie Funktioniert Ein Vakuum-Induktionsofen?
Wie Funktioniert Ein Vakuumofen?
Wie Funktioniert Ein Atmosphärenofen?
Welche Arten Von Rohröfen Gibt Es?
Welche Vorteile Bietet Der Einsatz Eines Mehrzonen-Rohrofens?
Wie Funktioniert Ein Vertikalrohrofen?
Welche Vorteile Hat Der Einsatz Eines Vakuum-Induktionsofens?
Welche Vorteile Bietet Der Einsatz Eines Vakuumofens?
Was Sind Die Vorteile Eines Atmosphärenofens?
Welche Temperaturbereiche Können Rohröfen Erreichen?
Welche Arten Von Mehrzonen-Rohröfen Gibt Es?
Welche Arten Von Vertikalrohröfen Gibt Es?
Welche Arten Von Vakuum-Induktionsöfen Gibt Es?
Welche Arten Von Materialien Können In Einem Vakuumofen Verarbeitet Werden?
Welche Arten Von Gasen Können In Einem Atmosphärenofen Verwendet Werden?
Können Rohröfen Unter Verschiedenen Atmosphären Betrieben Werden?
Warum Sollte Man Einen Vertikalen Rohrofen Einem Horizontalen Ofen Vorziehen?
Warum Ist Die Temperaturregelung In Vakuum-Induktionsöfen So Wichtig?
Was Ist Der Unterschied Zwischen Heißwand- Und Kaltwand-Vakuumöfen?
Welche Sicherheitsvorkehrungen Sind In Modernen Atmosphärenöfen Vorhanden?
Was Macht KINTEK-Röhrenöfen So Besonders?
Welche Temperaturbereiche Können Mit Vertikalrohröfen Erreicht Werden?
Welche Materialien Können In Einem Vakuum-Induktionsofen Bearbeitet Werden?
Können Vakuumöfen Für Bestimmte Anwendungen Angepasst Werden?
Sind Vertikalrohröfen Anpassbar?
Welche Vorteile Bietet Die Vakuumumgebung Für Die Materialverarbeitung?
Produktdatenblatt
CVD-Rohrofenmaschine mit mehreren Heizzonen für die chemische Gasphasenabscheidung
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