Produkte High Temperature Furnaces CVD & PECVD Furnace Geneigte rotierende plasmaunterstützte chemische Abscheidung PECVD-Rohrofenmaschine
Geneigte rotierende plasmaunterstützte chemische Abscheidung PECVD-Rohrofenmaschine

CVD & PECVD Furnace

Geneigte rotierende plasmaunterstützte chemische Abscheidung PECVD-Rohrofenmaschine

Artikelnummer : KT-PED

Preis variiert je nach Spezifikationen und Anpassungen


Heiztemperatur
≤800℃
Vakuumgrad
≤5×10-5Pa
Ausgangsleistung
500W-1000W
ISO & CE icon

Versand:

Kontaktieren Sie uns um Versanddetails zu erhalten. Genießen Sie Garantie für pünktliche Lieferung.

Angebot

Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) Beschichtungsanlage

Plasmaunterstützte Verdampfungsabscheidung PECVD-Beschichtungsanlage

Moderne PECVD-Anlagen von KINTEK: Präzisionsbeschichtung, maßgeschneidert für Ihre Bedürfnisse

Dank herausragender Forschung und Entwicklung und eigener Fertigung liefert KINTEK hochmoderne PECVD-Anlagen (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) für verschiedene Labore und industrielle Anwendungen. PECVD ist ein hochentwickeltes Verfahren zur Abscheidung von Dünnschichten im Vakuum, bei dem Plasmen zur Aktivierung von Vorläufergasen eingesetzt werden. Dies ermöglicht die Herstellung hochwertiger, gleichmäßiger Beschichtungen bei deutlich niedrigeren Temperaturen als bei der herkömmlichen chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) und erweitert die Möglichkeiten für wärmeempfindliche Substrate (wie Kunststoffe) und eine Vielzahl von Beschichtungsmaterialien (einschließlich Dielektrika, Halbleiter und Isolatoren).

Unsere PECVD-Maschinen sind ein wichtiger Bestandteil des umfassenden KINTEK-Angebots an fortschrittlichen Hochtemperatur-Ofenlösungen, zu denen auch Muffel-, Rohr- und Drehrohröfen, Vakuum- und Atmosphärenöfen sowie andere CVD/MPCVD-Systeme gehören. Wir sind stolz auf unsere ausgeprägte Fähigkeit zur kundenspezifischen Anpassung, die sicherstellt, dass Ihre PECVD-Anlage genau auf Ihre individuellen Versuchs- und Produktionsanforderungen zugeschnitten ist.

Wesentliche Merkmale

Die PECVD-Anlagen (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) von KINTEK bieten eine Reihe von Merkmalen, die für überragende Leistung und Vielseitigkeit sorgen:

  • Niedertemperatur-Beschichtung: Ermöglicht die Bildung hochwertiger Schichten auf empfindlichen Substraten oder solchen mit niedrigem Schmelzpunkt ohne thermische Schädigung, wodurch die Materialkompatibilität erheblich erweitert wird.
  • Hohe Abscheideraten: Erzielt ein schnelles Schichtwachstum, maximiert den Durchsatz, reduziert die Verarbeitungszeit und erhöht die Gesamtproduktivität.
  • Gleichmäßige und rissbeständige Schichten: Erzeugt Beschichtungen mit außergewöhnlich gleichmäßiger Dicke und Eigenschaften auf dem gesamten Substrat und minimiert Defekte wie Rissbildung für zuverlässige und dauerhafte Ergebnisse.
  • Hervorragende Substrathaftung: Sorgt für eine starke Bindung zwischen der abgeschiedenen Schicht und dem Substratmaterial, was zu einer lang anhaltenden Leistung führt und Delamination verhindert.
  • Vielseitige Beschichtungsfähigkeiten: Unterstützt die Abscheidung einer breiten Palette von Materialien, wie SiO2, SiNx, SiOxNy und mehr, und erfüllt so die unterschiedlichsten Anwendungsanforderungen.
  • Konforme Beschichtung auf komplexen Geometrien: Gleichmäßige Beschichtung von Substraten mit komplizierten Formen und Topographien, um eine umfassende Abdeckung und optimale Leistung zu gewährleisten.
  • Benutzerfreundliches Design: Entwickelt für geringe Wartungsanforderungen und eine unkomplizierte Installation, die Ausfallzeiten minimiert und die Integration in Ihren Arbeitsablauf vereinfacht.

Technische Daten

Probenhalter Größe 1-6 Zoll
Rotationsgeschwindigkeit 0-20rpm einstellbar
Temperatur der Heizung ≤800℃
Regelgenauigkeit ±0,5℃ SHIMADEN PID-Regler
Gasspülung Durchflussmesser MASSE-DURCHFLUSSMESSER-REGLER (MFC)
Kanäle 4 Kanäle
Methode der Kühlung Wasserumlaufkühlung
Vakuumkammer Größe der Kammer Φ500mm X 550mm
Beobachtungsöffnung Vollsichtöffnung mit Ablenkplatte
Material der Kammer 316 rostfreier Stahl
Tür-Typ Nach vorne offene Tür
Material des Deckels 304 rostfreier Stahl
Anschluss für Vakuumpumpe CF200-Flansch
Anschluss für Gaseinlass φ6 VCR-Anschluss
Plasma-Leistung Leistung der Quelle DC-Strom oder RF-Strom
Kopplungsmodus Induktiv gekoppelt oder plattenkapazitiv
Ausgangsleistung 500W-1000W
Bias-Leistung 500v
Vakuumpumpe Vor-Pumpe 15L/S Flügelzellen-Vakuumpumpe
Anschluss Turbopumpe CF150/CF200 620L/S-1600L/S
Entlastungsanschluss KF25
Drehzahl der Pumpe Flügelzellenpumpe:15L/s, Turbopumpe:1200l/s或1600l/s
Vakuumgrad ≤5×10-5Pa
Vakuum-Sensor Ionisation/Widerstandsvakuummeter/Filmmeter
Anlage Elektrische Versorgung AC 220V /380 50Hz
Nennleistung 5kW
Abmessungen 900mm X 820mm X870mm
Gewicht 200kg

Anwendungen

Die PECVD-Beschichtungsanlagen (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) von KINTEK bieten eine vielseitige Lösung für eine Vielzahl von Branchen und modernen Anwendungen:

  • LED-Beleuchtung: Abscheidung hochwertiger dielektrischer und halbleitender Schichten, die für effiziente und langlebige Leuchtdioden (LEDs) entscheidend sind.
  • Leistungshalbleiter: Herstellung von Isolierschichten, Gate-Oxiden und anderen kritischen Schichtkomponenten in Leistungshalbleitern.
  • MEMS (mikroelektromechanische Systeme): Herstellung präziser Dünnschichten für Sensoren, Aktuatoren und andere mikroskopisch kleine Geräte.
  • Optische Beschichtungen: Abscheidung von Antireflexionsschichten, optischen Filtern, Schutzschichten und anderen funktionellen optischen Komponenten.
  • Dünnschicht-Solarzellen: Herstellung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichten sowie anderen Halbleitermaterialien für photovoltaische Geräte.
  • Oberflächenmodifizierung: Verbesserung von Materialoberflächeneigenschaften, einschließlich verbesserter Korrosionsbeständigkeit, Verschleißfestigkeit, Härte und Biokompatibilität.
  • Nanotechnologie: Synthese von fortschrittlichen Nanomaterialien wie Nanopartikeln, Nanodrähten und ultradünnen Filmen für neuartige Anwendungen.

Warum eine Partnerschaft mit KINTEK für die PECVD-Technologie?

Die Wahl von KINTEK für Ihre PECVD-Anforderungen bedeutet eine Investition in Qualität, Zuverlässigkeit und maßgeschneiderte Lösungen:

  • Tiefe Anpassung: Wir sind darauf spezialisiert, PECVD-Anlagen nach Ihren genauen Spezifikationen zu konfigurieren, um eine optimale Leistung für Ihre speziellen Anwendungen und Forschungsziele zu gewährleisten.
  • Fortschrittliche F&E und Fertigung: Unser firmeneigenes Know-how treibt die Innovation voran und ermöglicht es uns, modernste PECVD-Technologie anzubieten.
  • Hochwertige Konstruktion: Unsere Systeme zeichnen sich durch eine stabile Konstruktion aus, bei der hochwertige Materialien wie Edelstahl für Stabilität, Langlebigkeit und eine lange Lebensdauer sorgen.
  • Zuverlässige Leistung: Unsere PECVD-Anlagen sind auf gleichbleibende Ergebnisse ausgelegt und erzeugen hochwertige, gleichmäßige Dünnschichten mit hervorragender Haftung.
  • Umfassende Unterstützung: Von der einfachen Installation bis hin zum geringen Wartungsaufwand stellen wir sicher, dass unsere Systeme benutzerfreundlich sind und von einem reaktionsschnellen Kundendienst unterstützt werden.
  • Vielseitigkeit: Unsere Anlagen können eine breite Palette von Materialien abscheiden und eignen sich daher für verschiedene Forschungs- und Industrieprozesse.

Arbeitsprinzip

Die plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) ist ein Verfahren, bei dem ein Plasma (ein ionisiertes Gas) zur Stimulierung und Verstärkung chemischer Reaktionen während des Dünnschichtabscheidungsprozesses eingesetzt wird. Im Gegensatz zur konventionellen CVD, bei der die Reaktionen ausschließlich durch hohe Temperaturen angetrieben werden, wird bei der PECVD ein Hochenergieplasma verwendet. Dieses Plasma regt die Vorläufergase an, was zur Bildung reaktiver Stoffe bei deutlich niedrigeren Substrattemperaturen führt. Diese reaktiven Spezies werden dann auf der Substratoberfläche adsorbiert und durch chemische Reaktionen zu einem festen, dünnen Film geformt. Diese Methode ermöglicht die Abscheidung verschiedener hochwertiger Schichten, wie SiO2, SiNx und SiOxNy, und ist besonders effektiv für die Herstellung amorpher oder mikrokristalliner Silizium-Dünnschichten, die in Solarzellen verwendet werden. Die niedrigeren Prozesstemperaturen minimieren die thermische Belastung der Substrate, reduzieren Pinholes und verhindern Rissbildung, so dass sich PECVD für ein breiteres Spektrum an Materialien und Anwendungen eignet.

Passen Sie Ihre PECVD-Lösung mit KINTEK an

Sind Sie bereit, Ihre Fähigkeiten zur Dünnschichtabscheidung zu verbessern? Die Experten von KINTEK stehen Ihnen zur Verfügung, um Ihre spezifischen Projektanforderungen und Herausforderungen zu besprechen. Wir helfen Ihnen bei der Konfiguration einer plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung, die perfekt auf Ihre Versuchs- oder Produktionsanforderungen zugeschnitten ist. Profitieren Sie von unserem umfassenden Fachwissen und unserer fortschrittlichen Technologie, um hervorragende Ergebnisse zu erzielen.

Kontaktieren Sie uns noch heute, um Ihre individuelle PECVD-Lösung zu finden!

FAQ

Was Ist Ein Rohrofen Und Wie Funktioniert Er?

Ein Rohrofen ist ein Heizgerät, das Wärme durch eine Wärmequelle erzeugt und diese Wärme über das Ofenrohr auf das Werkstück oder das Medium überträgt. Er bietet eine stabile und gleichmäßige Erwärmung, die für verschiedene industrielle Anwendungen geeignet ist. Das Temperaturregelungssystem überwacht die Ofentemperatur mit Hilfe von Thermoelementen oder anderen Sensoren und leitet das Signal an den Regler zurück, der die Leistung der Heizelemente anpasst, um eine präzise Temperaturregelung zu gewährleisten.

Was Sind Die Hauptanwendungen Eines Drehrohrofens?

Drehrohröfen werden häufig in der Pulvermetallurgie, beim Mischen von Materialien und bei chemischen Reaktionen eingesetzt, bei denen eine gleichmäßige Erwärmung und ein kontinuierliches Mischen erforderlich sind. Sie eignen sich besonders für die Verarbeitung körniger oder pulverförmiger Materialien.

Was Ist Das Prinzip Eines Drehofens?

Ein Drehrohrofen arbeitet als sich um seine Achse drehender Zylinder, der leicht geneigt ist, um die Bewegung des Beschickungsmaterials von einem Ende zum anderen zu erleichtern. Diese Konstruktion fördert die Durchmischung und gleichmäßige Erwärmung. Die Wärmezufuhr erfolgt in der Regel durch heiße Gase, die im Gegenstrom zum Materialstrom fließen.

Wofür Wird Ein Drehrohrofen Verwendet?

Ein Drehrohrofen wird für verschiedene Prozesse verwendet, darunter Aufkohlen (Hinzufügen von Kohlenstoff zu Metalloberflächen), Nitrieren (Hinzufügen von Stickstoff zu Metalloberflächen), Sintern, Glühen und andere fortschrittliche Materialbehandlungen. Er wird auch für Anwendungen wie die Pyrolyse von Biomasse, die Regeneration von Aktivkohle und die präzise Abscheidung dünner Schichten in der Halbleiterforschung eingesetzt.

Was Sind Die Hauptanwendungen Von Mehrzonen-Rohröfen?

Mehrzonen-Rohröfen werden in verschiedenen kommerziellen und Forschungsanwendungen eingesetzt, z. B. in der Halbleiter- und Batterieproduktion, bei der Herstellung von Thermoelementen und mineralisolierten Kabeln, beim Vakuumlöten und bei der Wärmebehandlung, beim Aushärten und Sintern im Vakuum, bei Wasser-/Abfall-/Bodentests, bei der Prüfung von Keramiken und Metallen in der Luft- und Raumfahrt, bei der Öl- und Gasanalyse, bei Festoxid-Brennstoffzellen und bei der Herstellung von Polymerverbundstoffen/Graphen. Sie werden auch für die Wärmebehandlung von Metallen (Härten, Anlassen, Glühen), das Vorwärmen für das Schweißen, das Sintern von Keramik/Pulvermetallurgie, die Behandlung von Beschichtungen und Experimente in der Materialforschung eingesetzt.

Was Sind Die Häufigsten Anwendungen Eines Geteilten Rohrofens?

Rohrspaltöfen werden häufig für Materialprüfungen (z. B. Zugversuche), die Pyrolyse organischer Materialien, die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) zur Abscheidung dünner Schichten, die Graphitierung kohlenstoffhaltiger Materialien und das Sintern von Keramik verwendet. Diese Anwendungen profitieren von der präzisen Temperaturregelung und der einfachen Probenhandhabung, die die geteilten Rohröfen bieten.

Was Ist Ein Vertikalrohrofen?

Ein Vertikalrohrofen ist ein Hochtemperaturheizgerät, das in vertikaler Ausrichtung konstruiert ist und eine präzise Temperaturregelung, gleichmäßige Erwärmung und effiziente Energienutzung bietet. Seine vertikale Bauweise ist platzsparend und besonders nützlich für Prozesse, die von einer vertikalen Aufstellung profitieren.

Was Sind Die Hauptanwendungen Von Rohröfen?

Rohröfen sind weit verbreitet für Gasabschreckversuche unter Vakuum oder atmosphärischen Bedingungen, Wärmebehandlungsanwendungen einschließlich Synthesen und Reinigungen, Oxidation, Diffusion, Kalzinierung und thermisches Glühen von anorganischen oder organischen Verbindungen. Sie werden auch bei der Materialprüfung, der thermischen Verarbeitung und bei chemischen Reaktionen eingesetzt, wenn kontrollierte Heiz- und Kühlraten erforderlich sind. Vertikale Rohröfen eignen sich besonders für Prozesse, bei denen die Proben von oben in den Ofen fallen müssen.

Was Sind Die Wichtigsten Merkmale Eines Drehrohrofens?

Ein Drehrohrofen verfügt über einen Drehmechanismus, der eine gleichmäßige Wärmeverteilung und eine gründliche Durchmischung der Proben gewährleistet. Er ist für die kontinuierliche Verarbeitung ausgelegt und kann verschiedene Probenvolumina aufnehmen. Der Ofen umfasst in der Regel mehrere beheizte Zonen, ein dreh- und kippbares Ofenrohr und kann Temperaturen von bis zu 1200 °C erreichen.

Welche Haupttypen Von Drehrohröfen Gibt Es?

Zu den wichtigsten Arten von Drehrohröfen gehören elektrische Drehrohröfen für die Pyrolyse und Kalzinierung, vakuumdichte Drehrohröfen für die kontinuierliche Verarbeitung, Labor-Vakuum-Kipp-Drehrohröfen, geteilte Drehrohröfen mit mehreren Heizzonen und geneigte Drehrohröfen für die plasmaunterstützte chemische Abscheidung (PECVD). Jeder Typ ist für bestimmte Anwendungen und Temperaturanforderungen ausgelegt.

Was Sind Die Wichtigsten Merkmale Von Mehrzonen-Rohröfen?

Die wichtigsten Merkmale sind: 1) Flexible Möglichkeiten zum Glühen und chemischen Aufdampfen, 2) Aufnahme von Proben bis zu 60 mm (2 Zoll), 3) Eingebauter Verteiler für einfache Gaszufuhr, 4) Natürliche Temperaturgradienten mit kühleren Enden und gleichmäßiger Erwärmung in der Mitte, 5) Anpassungsfähigkeit an verschiedene Gase oder Vakuumbedingungen und 6) Mehrere unabhängig voneinander gesteuerte Heizzonen für präzise Temperaturprofile.

Was Sind Die Wichtigsten Merkmale Eines Spaltrohrofens?

Ein geteilter Rohrofen bietet in der Regel Optionen für 1, 2, 3 oder 5 beheizte Zonen, mit einer beheizten Länge von 200-600 mm und einem beheizten Durchmesser von 40-100 mm. Er verfügt über eine zweischichtige Zwangskühlung, um eine sichere Gehäusetemperatur zu gewährleisten, und verwendet eine Heizschlange als Heizquelle, die Temperaturen von bis zu 1200 °C erreichen kann. Der Ofen besteht aus einem zylindrischen Rohr, das in Längsrichtung geteilt ist, oft in zwei Hälften, die mit Scharnieren verbunden sind, und ist mit pneumatischen Dämpfungsstützen für einen reibungslosen Betrieb ausgestattet.

Was Sind Die Anwendungen Eines Vertikalrohrofens?

Vertikalrohröfen werden häufig für Materialprüfungen, thermische Prozesse und chemische Reaktionen eingesetzt, die eine kontrollierte Aufheiz- und Abkühlgeschwindigkeit erfordern. Sie werden auch in der Chemietechnik zur Herstellung von Kunstharzen, Gummi, Farben und Farbstoffen, in der Lebensmittelindustrie zum Backen, Trocknen und Sterilisieren sowie in der Metallurgie für Schmelz- und Wärmebehandlungsprozesse eingesetzt.

Welche Vorteile Bietet Der Einsatz Eines Rohrofens?

Rohröfen bieten eine Reihe von Vorteilen: ausgereifte Technologie, einfache Ofenstruktur, geringer Energieverbrauch, hoher thermischer Wirkungsgrad, einfache Bedienung und Steuerung, Fähigkeit zur kontinuierlichen Produktion, präzise Temperaturregelung, gleichmäßige Temperaturverteilung und Anpassungsfähigkeit an unterschiedliche Atmosphären. Außerdem ermöglichen sie eine höhere Ausbeute an Produkten, eine hohe Produktkonzentration und die Möglichkeit, den größten Teil des Spalt- und Rauchgases zurückzugewinnen. Für eine großtechnische Produktion können mehrere Öfen kombiniert werden.

Wie Funktioniert Ein Drehrohrofen?

Drehrohröfen arbeiten nach dem Prinzip der indirekten Befeuerung, bei der die Wärme von einer Wärmequelle über ein rotierendes Rohr auf das Material übertragen wird. Sie verwenden ein kontinuierliches thermisches System mit mehreren Regelzonen, um eine gleichmäßige Erwärmung zu gewährleisten. Der Ofen verbrennt in seinem Arbeitsteil pulverisierte, feste, gasförmige oder flüssige Brennstoffe, wobei Heizgase entstehen, die zur Probe strömen. Die rotierende Trommel, die mit feuerfestem Material ausgekleidet und in einem Winkel montiert ist, erleichtert diesen Prozess.

Wie Funktioniert Ein Mehrzonen-Rohrofen?

Ein Mehrzonen-Rohrofen funktioniert wie folgt: 1) Erzeugung von Wärme durch mehrere unabhängig voneinander geregelte Heizelemente, 2) gleichmäßige Übertragung dieser Wärme durch das Ofenrohr auf das Werkstück, 3) Schaffung entweder präziser Temperaturgradienten (für Prozesse wie CVD-Schichtwachstum) oder ausgedehnter Zonen mit konstanter Temperatur (wenn mehrere Zonen auf dieselbe Temperatur eingestellt sind) und 4) Aufrechterhaltung stabiler Heizbedingungen, die für verschiedene industrielle Prozesse geeignet sind.

Wie Funktioniert Ein Spaltrohrofen?

Ein Spaltrohrofen funktioniert durch die Erzeugung von Wärme durch eine Heizspirale, die diese Wärme an das Werkstück oder das Medium im Inneren des Ofenrohrs überträgt. Dieses Verfahren gewährleistet eine stabile und gleichmäßige Erwärmung und eignet sich daher für verschiedene Industrie- und Laboranwendungen. Der Ofen kann mit mehreren Heizzonen konfiguriert werden und verfügt über Funktionen wie Zwangsluftkühlung, um sichere Außentemperaturen zu gewährleisten.

Was Sind Die Vorteile Eines Vertikalrohrofens?

Vertikalrohröfen bieten mehrere Vorteile, darunter eine geringere Stellfläche im Vergleich zu Horizontalöfen, was sie ideal für Labors mit begrenztem Platzangebot macht. Außerdem bieten sie einen effizienten und energiesparenden Betrieb, eine präzise Temperaturregelung, Flexibilität im Einsatz, einfache Bedienung, Sicherheit, Zuverlässigkeit und die Einhaltung von Umweltstandards.

Welche Arten Von Rohröfen Gibt Es?

Es gibt verschiedene Arten von Rohröfen, z. B. Labor-Quarzrohröfen, Drehrohröfen mit geteilter Heizzone, Mehrzonen-Rohröfen, Hochtemperatur-Rohröfen (bis zu 1700 °C), PECVD-Rohröfen für die Dünnschichtabscheidung, Vakuumrohröfen und Vertikalrohröfen. Diese Öfen verfügen über verschiedene Merkmale wie Schnellaufheizung, einstellbare Neigung, 360°-Drehung, anpassbare Heizzonen und Vakuumbereitschaft, um verschiedenen Anwendungen gerecht zu werden.

Welche Vorteile Bietet Der Einsatz Eines Drehrohrofens?

Der Drehrohrofen bietet mehrere Vorteile, darunter eine gleichmäßige Temperaturverteilung aufgrund seiner Drehbewegung, die ein Absetzen der Probe verhindert und eine gleichmäßige Verarbeitung gewährleistet. Er verbessert die Effizienz der Wärmeübertragung, was zu kürzeren Bearbeitungszeiten und gleichmäßigeren Ergebnissen führt. Darüber hinaus ermöglicht sein Design eine hervorragende Effizienz bei der Wärmeübertragung und kann mit mehreren beheizten Zonen an die jeweiligen Bedürfnisse angepasst werden.

Was Sind Die Häufigsten Anwendungen Eines Drehrohrofens?

Drehrohröfen sind besonders nützlich in der Pulvermetallurgie, beim Mischen von Materialien und bei chemischen Reaktionen, bei denen eine gleichmäßige Erwärmung und ein kontinuierliches Mischen wichtig sind. Sie werden auch für die Verarbeitung von körnigem oder pulverförmigem Material eingesetzt, für die Herstellung von Materialien wie Tonerde und Eisenerzpellets und für Anwendungen wie Kalzinierung und Oxidation, die einen kontinuierlichen Durchsatz von Schüttgut erfordern.

Welche Vorteile Bietet Der Einsatz Eines Drehofens?

Zu den Vorteilen eines Drehofens gehören die gleichmäßige Wärmeverteilung für konstante Ergebnisse, die präzise Temperaturregelung, die Energieeffizienz im Vergleich zu herkömmlichen Verbrennungsmethoden und die Flexibilität bei der Anpassung von Wärmebehandlungsprozessen. Darüber hinaus sind Drehrohröfen für die Kleinserienproduktion kostengünstig und können auf spezifische Forschungs- oder Industrieanforderungen zugeschnitten werden.

Welche Vorteile Bietet Der Einsatz Eines Mehrzonen-Rohrofens?

Zu den Vorteilen gehören: 1) Ausgereifte, zuverlässige Technologie mit einfacher Ofenstruktur, 2) Geringer Stromverbrauch mit hohem thermischen Wirkungsgrad, 3) Einfache Bedienung und präzise Steuerung, 4) Fähigkeit zur kontinuierlichen Produktion, 5) Möglichkeit zur Schaffung ausgedehnter gleichmäßiger Heizzonen oder präziser Temperaturgradienten, 6) Höhere Produktausbeute bei chemischen Prozessen, 7) Möglichkeit zur Rückgewinnung von Prozessgasen, 8) Breite Anwendbarkeit von Rohstoffen und 9) Skalierbarkeit durch Kombination von Öfen für die Großproduktion.

Was Sind Die Vorteile Eines Geteilten Rohrofens?

Zu den Hauptvorteilen eines geteilten Rohrofens gehören das vereinfachte Be- und Entladen von Proben oder Geräten, geringere Betriebsausfallzeiten und eine höhere Effizienz. Die geteilte Bauweise ermöglicht einen schnellen Zugang zum Ofenraum, was besonders bei Anwendungen von Vorteil ist, die häufige Wechsel oder komplizierte Versuchsaufbauten erfordern. Darüber hinaus verbessern Merkmale wie pneumatische Dämpfungsstreben und mehrere Heizzonen die Benutzerfreundlichkeit und Leistung weiter.

Wie Funktioniert Ein Vertikalrohrofen?

Ein Vertikalrohrofen erzeugt Wärme durch eine Wärmequelle und überträgt diese Wärme über das Ofenrohr auf das erwärmte Werkstück oder Medium. Dieses Verfahren gewährleistet eine stabile und gleichmäßige Erwärmung und ist daher für verschiedene industrielle Anwendungen geeignet.

Welche Temperaturbereiche Können Rohröfen Erreichen?

Rohröfen sind in verschiedenen Temperaturbereichen erhältlich, die für unterschiedliche Anwendungen geeignet sind. Standardmodelle erreichen in der Regel bis zu 1200°C, während Hochtemperaturmodelle 1400°C bis 1700°C erreichen können. Einige Spezialmodelle können sogar bis zu 2000°C erreichen. Die Temperaturkapazität hängt von den verwendeten Heizelementen und Ofenrohrmaterialien (wie Quarz oder Aluminiumoxid) ab.

Welche Temperatur Kann Ein Drehrohrofen Erreichen?

Ein Drehrohrofen kann eine Höchsttemperatur von 1200 °C erreichen und eignet sich daher für Hochtemperaturanwendungen wie Kalzinierung, Sintern und Wärmebehandlung.

Wie Behandelt Ein Drehrohrofen Unterschiedliche Materialien?

Drehrohröfen sind aufgrund ihrer rotierenden und leicht geneigten Bauweise, die eine gleichmäßige Erwärmung und Durchmischung gewährleistet, flexibel in der Handhabung verschiedener Einsatzmaterialien. Dadurch eignen sie sich für eine breite Palette von Materialien, einschließlich körniger oder pulverförmiger Stoffe, und ermöglichen eine effiziente Verarbeitung bei Anwendungen wie Kalzinierung und Oxidation.

Welche Sicherheitsmerkmale Sind In Drehrohröfen Enthalten?

Drehrohröfen sind mit wichtigen Sicherheitsmerkmalen wie Übertemperaturschutz, Notabschaltmechanismen und eindeutigen Alarmsystemen ausgestattet. Diese Funktionen gewährleisten einen sicheren Betrieb und verhindern Unfälle bei Hochtemperaturprozessen.

Welche Arten Von Mehrzonen-Rohröfen Gibt Es?

Zu den verfügbaren Typen gehören: 1) Drehrohröfen mit mehreren Heizzonen (mit Kipp- und Rotationsmöglichkeiten), 2) Labor-Quarzrohröfen (bis 1700 °C mit 1-10 Zonen), 3) Öfen für die schnelle thermische Verarbeitung (RTP) mit hohen Heizraten, 4) CVD-Rohröfen für die chemische Gasphasenabscheidung, 5) PECVD-Öfen für plasmaunterstützte Prozesse, 6) Vakuumrohröfen und 7) Hochdruckrohröfen. Diese Öfen gibt es in verschiedenen Konfigurationen mit anpassbaren Zonenzahlen, Temperaturbereichen und besonderen Merkmalen wie Vakuum-/Atmosphärensteuerung.

Welche Temperatur Kann Ein Spaltrohrofen Erreichen?

Ein Spaltrohrofen kann eine Höchsttemperatur von 1200 °C erreichen und eignet sich daher für Hochtemperaturanwendungen wie Materialsynthese, CVD und Sintern. Der Ofen verwendet eine Heizschlange als Wärmequelle und verfügt über eine zweischichtige Zwangsluftkühlung, um während des Betriebs sichere Außentemperaturen aufrechtzuerhalten.

Welche Arten Von Vertikalrohröfen Gibt Es?

Vertikalrohröfen gibt es in verschiedenen Ausführungen, z. B. mit einer oder mehreren Heizzonen, mit der Möglichkeit der schnellen thermischen Verarbeitung (RTP), mit Vakuumstationen und mit anpassbaren Lösungen für spezielle Laboranforderungen wie CVD (Chemical Vapor Deposition) und PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition).

Können Rohröfen Unter Verschiedenen Atmosphären Betrieben Werden?

Ja, Rohröfen sind vielseitig und können unter verschiedenen Atmosphären betrieben werden, darunter Luft, Inertgase (wie Argon oder Stickstoff), Vakuum und spezielle Gasgemische. Dadurch eignen sie sich für eine Vielzahl von Verfahren wie Oxidation, Reduktion, Glühen und chemische Gasphasenabscheidung (CVD). Viele Modelle sind vakuumtauglich und verfügen über Gasregelsysteme für ein präzises Atmosphärenmanagement.

Welche Arten Von Materialien Können In Einem Drehrohrofen Verarbeitet Werden?

Drehrohröfen sind ideal für die Verarbeitung körniger oder pulverförmiger Materialien. Sie werden häufig für Anwendungen in der Pulvermetallurgie, beim Mischen von Materialien und bei chemischen Reaktionen eingesetzt, bei denen eine gleichmäßige Erwärmung und kontinuierliches Mischen erforderlich sind.

Können Drehrohröfen Für Bestimmte Anwendungen Angepasst Werden?

Ja, Drehrohröfen können für spezifische Anwendungen angepasst werden. Sie sind in verschiedenen Konfigurationen erhältlich, z. B. mit unterschiedlichen Heizzonen, einstellbaren Kippwinkeln und 360°-Rotationsmöglichkeiten. Zu den Anpassungsmöglichkeiten gehören auch Einstellungen für Vakuum und kontrollierte Atmosphäre, um den genauen Anforderungen von Forschungs- oder Produktionsumgebungen gerecht zu werden.

Warum Ist Das Geteilte Design In Einem Rohrofen Von Vorteil?

Die geteilte Bauweise eines Rohrofens ist vorteilhaft, weil sie einen schnellen und einfachen Zugang zur Ofenkammer ermöglicht. Diese Konstruktion, die häufig aus zwei aufklappbaren Hälften mit pneumatischen Dämpfungsstreben besteht, vereinfacht die Handhabung komplexer Aufbauten oder großer Proben, verringert die Ausfallzeiten und erhöht die Gesamteffizienz, insbesondere bei Anwendungen, die häufige Änderungen oder komplizierte Konfigurationen erfordern.

Warum Sollte Man Einen Vertikalen Rohrofen Einem Horizontalen Ofen Vorziehen?

Ein vertikaler Rohrofen wird in erster Linie wegen seiner platzsparenden Bauweise und der Möglichkeit, schwerkraftunterstützte Prozesse zu nutzen, einem horizontalen Ofen vorgezogen. Der vertikale Aufbau kann zu einer gleichmäßigen Wärme- und Materialverteilung beitragen, was ihn für bestimmte Experimente oder Fertigungsprozesse ideal macht.

Was Macht KINTEK-Röhrenöfen So Besonders?

KINTEK-Röhrenöfen zeichnen sich durch ihre präzise Temperaturregelung (einige Modelle bieten eine schnelle Aufheizung von bis zu 100 °C/s), anpassbare Heizzonen (von 1 bis 10 Zonen), vakuumtaugliche Konstruktionen und Sicherheitszertifizierungen aus. Sie bieten vielseitige Lösungen für fortschrittliche Anwendungen wie Materialsynthese, CVD, Sintern und Halbleiterforschung, mit Optionen für Rotationsmechanismen, geteilte Kammern und plasmagestützte Konfigurationen.

Welche Temperaturbereiche Können Mit Vertikalrohröfen Erreicht Werden?

Vertikale Rohröfen können hohe Temperaturen erreichen, je nach Modell und Konfiguration typischerweise bis zu 1800°C. Sie sind für die Präzisionserwärmung ausgelegt und können an spezifische Temperaturanforderungen für verschiedene Anwendungen angepasst werden.

Sind Vertikalrohröfen Anpassbar?

Ja, Vertikalrohröfen sind in hohem Maße anpassbar. Sie können mit Merkmalen wie mehreren Heizzonen, Schnellheizfunktionen, Vakuumsystemen und speziellen Atmosphärensteuerungen auf die besonderen Anforderungen verschiedener Forschungs- und Industrieanwendungen zugeschnitten werden.
Weitere FAQs zu diesem Produkt anzeigen

4.8

out of

5

This machine is a game-changer! The precision and efficiency are unmatched. Worth every penny!

Elara Voss

4.9

out of

5

Incredible technology! The inclined rotary feature makes all the difference. Superb quality!

Rafael Mendoza

4.7

out of

5

Fast delivery and easy setup. The performance exceeds expectations. Highly recommend!

Sienna Khatri

4.9

out of

5

Top-notch durability and advanced features. This machine is built to last. Impressive!

Nikolai Petrov

4.8

out of

5

The PECVD process is flawless. Such a reliable and high-quality machine. Love it!

Ananya Rao

4.7

out of

5

Great value for money. The technology is cutting-edge and the results are consistent.

Lucien Dubois

4.9

out of

5

Exceptional performance! The rotary design enhances uniformity. A must-have for labs!

Zara Al-Mansoor

4.8

out of

5

Outstanding machine! The plasma enhancement is brilliant. Delivered faster than expected.

Hiroshi Tanaka

4.7

out of

5

Perfect for high-throughput applications. The build quality is exceptional. Very satisfied!

Freya Olsen

4.9

out of

5

Innovative and reliable. The inclined tube design is genius. Works like a charm!

Mateo Silva

4.8

out of

5

Fantastic investment! The machine delivers consistent, high-quality results. Highly impressed!

Aisha Nkosi

Produkte

Geneigte rotierende plasmaunterstützte chemische Abscheidung PECVD-Rohrofenmaschine

PDF Format Katalog
Herunterladen

Kategorie

Cvd & Pecvd Furnace

PDF Format Katalog
Herunterladen

Fordern Sie ein Angebot an

Unser professionelles Team wird Ihnen innerhalb eines Werktages antworten. Sie können uns gerne kontaktieren!

Ähnliche Produkte

Geneigte rotierende plasmaunterstützte chemische Abscheidung PECVD-Rohrofenmaschine

Geneigte rotierende plasmaunterstützte chemische Abscheidung PECVD-Rohrofenmaschine

Fortschrittlicher PECVD-Rohrofen für die präzise Dünnschichtabscheidung. Gleichmäßige Heizung, RF-Plasmaquelle, anpassbare Gassteuerung. Ideal für die Halbleiterforschung.

Dia-PECVD-Rohrofen mit Flüssigvergaser PECVD-Maschine

Dia-PECVD-Rohrofen mit Flüssigvergaser PECVD-Maschine

KINTEK Slide PECVD-Rohrofen: Präzisions-Dünnschichtabscheidung mit RF-Plasma, schnellen Temperaturzyklen und anpassbarer Gassteuerung. Ideal für Halbleiter und Solarzellen.

1700℃ Hochtemperatur-Laborrohrofen mit Quarz- oder Aluminiumoxidrohr

1700℃ Hochtemperatur-Laborrohrofen mit Quarz- oder Aluminiumoxidrohr

KINTEKs Rohrofen mit Aluminiumoxid-Rohr: Präzisionserwärmung auf bis zu 1700°C für Materialsynthese, CVD und Sinterung. Kompakt, anpassbar und vakuumtauglich. Jetzt erforschen!

1400℃ Hochtemperatur-Labor-Rohrofen mit Quarz- und Tonerde-Rohr

1400℃ Hochtemperatur-Labor-Rohrofen mit Quarz- und Tonerde-Rohr

KINTEKs Rohrofen mit Aluminiumoxid-Rohr: Präzise Hochtemperaturverarbeitung bis zu 2000°C für Labore. Ideal für Materialsynthese, CVD und Sinterung. Anpassbare Optionen verfügbar.

Elektrischer Drehrohrofen Kleiner Drehrohrofen für die Regeneration von Aktivkohle

Elektrischer Drehrohrofen Kleiner Drehrohrofen für die Regeneration von Aktivkohle

Elektrischer Aktivkohle-Regenerationsofen von KINTEK: Hocheffizienter, automatisierter Drehrohrofen für nachhaltige Kohlenstoffrückgewinnung. Minimieren Sie Abfall, maximieren Sie Einsparungen. Angebot einholen!

RF-PECVD-System Hochfrequenzplasma-unterstützte chemische Gasphasenabscheidung

RF-PECVD-System Hochfrequenzplasma-unterstützte chemische Gasphasenabscheidung

KINTEK RF PECVD-System: Präzisions-Dünnschichtabscheidung für Halbleiter, Optik und MEMS. Automatisiertes Niedertemperaturverfahren mit hervorragender Schichtqualität. Kundenspezifische Lösungen verfügbar.

Vertikaler Labor-Quarz-Rohrofen Rohrofen

Vertikaler Labor-Quarz-Rohrofen Rohrofen

Vertikaler Präzisions-Rohrofen von KINTEK: 1800℃ Heizung, PID-Regelung, anpassbar für Labore. Ideal für CVD, Kristallwachstum und Materialprüfung.

Elektrischer Drehrohrofen Kleiner Drehrohrofen Biomasse-Pyrolyseanlage Drehrohrofen

Elektrischer Drehrohrofen Kleiner Drehrohrofen Biomasse-Pyrolyseanlage Drehrohrofen

Der rotierende Biomasse-Pyrolyseofen von KINTEK wandelt Biomasse effizient in Biokohle, Bioöl und Synthesegas um. Anpassbar für Forschung und Produktion. Holen Sie sich jetzt Ihre Lösung!

1200℃ geteilter Rohrofen Labor-Quarzrohrofen mit Quarzrohr

1200℃ geteilter Rohrofen Labor-Quarzrohrofen mit Quarzrohr

Entdecken Sie den 1200℃ Split Tube Furnace von KINTEK mit Quarzrohr für präzise Hochtemperatur-Laboranwendungen. Anpassbar, langlebig und effizient. Holen Sie sich jetzt Ihren!

Hochdruck-Labor-Vakuum-Rohrofen Quarz-Rohrofen

Hochdruck-Labor-Vakuum-Rohrofen Quarz-Rohrofen

KINTEK Hochdruck-Rohrofen: Präzisionserwärmung auf bis zu 1100°C mit 15Mpa Druckregelung. Ideal für Sinterung, Kristallwachstum und Laborforschung. Anpassbare Lösungen verfügbar.

Labor-Quarz-Rohrofen RTP Heiz-Rohrofen

Labor-Quarz-Rohrofen RTP Heiz-Rohrofen

Der RTP-Schnellheiz-Rohrofen von KINTEK bietet eine präzise Temperaturregelung, schnelles Aufheizen mit bis zu 100 °C/s und vielseitige Atmosphärenoptionen für fortschrittliche Laboranwendungen.

Vakuumversiegelter, kontinuierlich arbeitender Drehrohrofen Drehrohrofen

Vakuumversiegelter, kontinuierlich arbeitender Drehrohrofen Drehrohrofen

Präzisions-Drehrohrofen für die kontinuierliche Vakuumverarbeitung. Ideal zum Kalzinieren, Sintern und für die Wärmebehandlung. Anpassbar bis zu 1600℃.

915MHz MPCVD Diamant Maschine Mikrowellen Plasma Chemische Gasphasenabscheidung System Reaktor

915MHz MPCVD Diamant Maschine Mikrowellen Plasma Chemische Gasphasenabscheidung System Reaktor

KINTEK MPCVD-Diamantmaschine: Hochwertige Diamantsynthese mit fortschrittlicher MPCVD-Technologie. Schnelleres Wachstum, höhere Reinheit, anpassbare Optionen. Steigern Sie jetzt Ihre Produktion!

Hochleistungs-Vakuumbälge für effiziente Verbindungen und stabiles Vakuum in Systemen

Hochleistungs-Vakuumbälge für effiziente Verbindungen und stabiles Vakuum in Systemen

KF-Ultrahochvakuum-Beobachtungsfenster mit Hochborosilikatglas für klare Sicht in anspruchsvollen 10^-9 Torr-Umgebungen. Langlebiger 304-Edelstahl-Flansch.

Molybdändisilizid MoSi2 Thermische Heizelemente für Elektroöfen

Molybdändisilizid MoSi2 Thermische Heizelemente für Elektroöfen

Leistungsstarke MoSi2-Heizelemente für Labore, die bis zu 1800°C erreichen und eine hervorragende Oxidationsbeständigkeit aufweisen. Anpassbar, langlebig und zuverlässig für Hochtemperaturanwendungen.

CF KF Flansch-Vakuum-Elektroden-Durchführungsdichtung für Vakuumsysteme

CF KF Flansch-Vakuum-Elektroden-Durchführungsdichtung für Vakuumsysteme

Zuverlässige CF/KF-Flansch-Vakuumelektrodendurchführung für Hochleistungs-Vakuumsysteme. Gewährleistet hervorragende Abdichtung, Leitfähigkeit und Haltbarkeit. Anpassbare Optionen verfügbar.

304 316 Edelstahl-Hochvakuum-Kugelabsperrventil für Vakuumsysteme

304 316 Edelstahl-Hochvakuum-Kugelabsperrventil für Vakuumsysteme

Die 304/316-Edelstahl-Vakuumkugelhähne und Absperrventile von KINTEK gewährleisten eine leistungsstarke Abdichtung für industrielle und wissenschaftliche Anwendungen. Entdecken Sie langlebige, korrosionsbeständige Lösungen.

Vakuum-Heißpressen-Ofen Maschine Beheizte Vakuumpresse

Vakuum-Heißpressen-Ofen Maschine Beheizte Vakuumpresse

KINTEK-Vakuum-Heißpressofen: Präzisionserwärmung und -pressen für höchste Materialdichte. Anpassbar bis zu 2800°C, ideal für Metalle, Keramik und Verbundwerkstoffe. Entdecken Sie jetzt die erweiterten Funktionen!

CVD-Rohrofenmaschine mit mehreren Heizzonen für die chemische Gasphasenabscheidung

CVD-Rohrofenmaschine mit mehreren Heizzonen für die chemische Gasphasenabscheidung

Die Multi-Zone-CVD-Röhrenöfen von KINTEK bieten eine präzise Temperatursteuerung für die fortschrittliche Dünnschichtabscheidung. Ideal für Forschung und Produktion, anpassbar an Ihre Laboranforderungen.