Produkte High Temperature Furnaces MPCVD Zylindrisches Resonator-MPCVD-Maschinensystem für die Diamantzüchtung im Labor
Zylindrisches Resonator-MPCVD-Maschinensystem für die Diamantzüchtung im Labor

MPCVD

Zylindrisches Resonator-MPCVD-Maschinensystem für die Diamantzüchtung im Labor

Artikelnummer : KTWB315

Preis variiert je nach Spezifikationen und Anpassungen


Mikrowellen-Ausgangsleistung
1~10 KW stufenlos einstellbar
Substrat-Wachstumsfläche
3 Zoll
Maximale Beladung
45 Stück Diamanten
ISO & CE icon

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Angebot

Dank außergewöhnlicher Forschung und Entwicklung und eigener Fertigung bietet KINTEK verschiedenen Labors fortschrittliche Hochtemperatur-Ofenlösungen, einschließlich unserer hochmodernen MPCVD-Systeme. Unsere Produktpalette, die Muffel-, Rohr- und Drehrohröfen, Vakuum- und Atmosphärenöfen sowie verschiedene CVD/PECVD/MPCVD-Anlagen umfasst, wird durch unsere starke Fähigkeit zur kundenspezifischen Anpassung ergänzt, um Ihre individuellen experimentellen Anforderungen genau zu erfüllen.

KINTEK MPCVD-Anlagen: Hochwertige Diamantschichten mit Präzision erzeugen

KinTek MPCVD-Anlage

Unsere MPCVD-Anlagen (Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition) wurden für Labore und Industrieunternehmen entwickelt, die hochwertige Diamantschichten erzeugen wollen. Durch den Einsatz eines kohlenstoffhaltigen Gases und eines Mikrowellenplasmas bietet die MPCVD-Technologie von KINTEK eine zuverlässige und effiziente Methode zur Diamantsynthese.

Warum sollten Sie sich für das MPCVD-System von KINTEK entscheiden?

Die MPCVD-Anlagen von KINTEK sind aufgrund ihrer langjährigen Erfahrung in der Branche und ihres großen Kundenstamms für ihre Leistung und Zuverlässigkeit bekannt. Unsere Systeme haben sich bewährt:

  • Außergewöhnliche Stabilität und Zuverlässigkeit: Bewährt mit über 40.000 Stunden gleichmäßigem Betrieb.
  • Reproduzierbarkeit und Kosteneffizienz: Konstante und effiziente Lieferung hochwertiger Ergebnisse.
  • Hohe Kapazität: 3-Zoll-Substrat-Zuchtfläche mit einer maximalen Chargenladung von bis zu 45 Diamanten.
  • Energieeffizient: 1-10KW einstellbare Mikrowellenleistung für reduzierten Stromverbrauch.
  • Fachkundige Unterstützung: Unterstützt durch ein erfahrenes Forschungsteam, das Unterstützung bei der Entwicklung von Rezepten für die Diamantenzucht bietet.
  • Anfängertauglich: Exklusives technisches Unterstützungsprogramm für Teams mit null Erfahrung in der Diamantenzucht.

Durch den Einsatz unserer hochentwickelten Technologie haben wir unser MPCVD-System in mehreren Runden aufgerüstet und verbessert, was zu einer deutlich verbesserten Effizienz und reduzierten Anlagenkosten führte. Das Ergebnis ist, dass unsere MPCVD-Anlagen an der Spitze des technologischen Fortschritts stehen und zu einem wettbewerbsfähigen Preis angeboten werden. Sind Sie bereit, Ihre Fähigkeiten in der Diamantenzucht zu verbessern? Lassen Sie sich noch heute von unseren Experten beraten!

KinTek MPCVD-Simulation
KinTek MPCVD-Simulation

Visuelles Schaufenster: Ergebnisse mit KINTEK MPCVD

KINTEK MPCVD-Maschinen
KINTEK MPCVD-Diamantbearbeitungsmaschinen
Neues Modell der KINTEK MPCVD-Diamantanlage
Neues Modell der KINTEK MPCVD-Diamantanlage
Neues Modell der KINTEK MPCVD-Diamantanlage
Neues Modell der KINTEK MPCVD-Diamantanlage
Rohdiamanten gezüchtet mit KINTEK MPCVD
Rohdiamanten gezüchtet mit KINTEK MPCVD
In der KinTek MPCVD-Maschine wachsen die Diamanten
In der KinTek MPCVD-Maschine wachsen die Diamanten
In der KinTek MPCVD-Maschine wachsen Diamanten
In der KinTek MPCVD-Maschine wachsen Diamanten
In der KinTek MPCVD-Anlage wachsen Diamanten
In der KinTek MPCVD-Anlage wachsen Diamanten
In der KinTek MPCVD-Maschine wachsen die Diamanten
In der KinTek MPCVD-Maschine wachsen die Diamanten
In der KinTek MPCVD-Anlage wachsen Diamanten
In der KinTek MPCVD-Anlage wachsen Diamanten
Rohdiamant aus der KINTEK MPCVD-Maschine
Rohdiamant aus der KINTEK MPCVD-Maschine
Rohdiamant aus der KINTEK MPCVD-Anlage
Rohdiamant aus der KINTEK MPCVD-Anlage
Rohdiamant aus einer KINTEK MPCVD-Anlage
Rohdiamant aus einer KINTEK MPCVD-Anlage
MPCVD-gezüchtete Diamanten nach dem Polieren
MPCVD-gezüchtete Diamanten nach dem Polieren
Polykristallin durch KinTek MPCVD
Polykristallin durch KinTek MPCVD

Hauptmerkmale & Systemkomponenten

Unsere MPCVD-Anlagen sind mit Präzisionskomponenten ausgestattet, die eine optimale Leistung während des Abscheidungsprozesses gewährleisten. Das System besteht in der Regel aus einer Vakuumkammer, einem Mikrowellengenerator (häufig ein Magnetron oder Klystron, das mit etwa 2,45 GHz arbeitet und über ein Quarzfenster gekoppelt ist), einem präzisen Gaszufuhrsystem mit Massendurchflussreglern (MFCs) und Temperaturregelungsmechanismen.

Mikrowellen-System

Mikrowellensystem

Reaktionskammer

Reaktionskammer

Gasfluss-System

Gasfluss-System

Vakuum- und Sensorsystem

Vakuum- und Sensorsystem

Technische Daten

Mikrowellen-System
  • Mikrowellenfrequenz 2450±15MHZ,
  • Ausgangsleistung 1~10 KW stufenlos einstellbar
  • Stabilität der Mikrowellen-Ausgangsleistung:
  • Mikrowellenstreuung ≤2MW/cm2
  • Ausgangswellenleiter-Schnittstelle: WR340, 430 mit FD-340, 430 Standardflansch
  • Kühlwasserdurchfluss: 6-12L/min
  • Stehwellenkoeffizient des Systems: VSWR ≤ 1,5
  • Manueller 3-Pin-Mikrowelleneinsteller, Erregerkavität, Hochleistungslast
  • Eingangsstromversorgung: 380VAC/50Hz ± 10%, dreiphasig
Reaktionskammer
  • Vakuum-Leckrate
  • Der Grenzdruck beträgt weniger als 0,7 Pa (Standardeinstellung mit Pirani-Vakuummeter)
  • Der Druckanstieg der Kammer darf nach 12 Stunden Druckhaltung 50 Pa nicht überschreiten
  • Arbeitsmodus der Reaktionskammer: TM021 oder TM023 Modus
  • Art des Hohlraums: Zylindrischer Resonanzhohlraum, mit einer maximalen Tragkraft von 10KW, hergestellt aus Edelstahl 304, mit wassergekühlter Zwischenschicht und hochreinem Quarzplatten-Dichtungsverfahren.
  • Lufteinlass-Modus: Oberer ringförmiger gleichmäßiger Lufteinlass
  • Vakuumversiegelung: Der untere Anschluss der Hauptkammer und die Injektionsklappe sind mit Gummiringen abgedichtet, die Vakuumpumpe und der Faltenbalg sind mit KF abgedichtet, die Quarzplatte ist mit einem Metall-C-Ring abgedichtet, und der Rest ist mit CF abgedichtet
  • Fenster zur Beobachtung und Temperaturmessung: 8 Beobachtungsöffnungen
  • Probenladeöffnung an der Vorderseite der Kammer
  • Stabile Entladung innerhalb des Druckbereichs von 0,7KPa~30KPa (der Leistungsdruck muss angepasst werden)
Probenhalter
  • Durchmesser des Probentisches≥72mm, effektive Nutzfläche≥66 mm
  • Grundplattenplattform in wassergekühlter Sandwichbauweise
  • Probenhalter kann gleichmäßig elektrisch im Hohlraum angehoben und abgesenkt werden
Gasfluss-System
  • Ganzmetall-Schweißluftscheibe
  • Für alle internen Gaskreisläufe des Geräts sind Schweiß- oder VCR-Verbindungen zu verwenden.
  • 5 Kanäle MFC-Durchflussmesser, H2/CH4/O2/N/Ar. H2: 1000 sccm; CH4: 100 sccm; O2: 2 sccm; N2: 2 sccm; Ar: 10 sccm
  • Arbeitsdruck 0,05-0,3MPa, Genauigkeit ±2%
  • Unabhängige pneumatische Ventilsteuerung für jeden Kanal-Durchflussmesser
Kühlung
  • 3 Linien Wasserkühlung, Echtzeit-Überwachung von Temperatur und Durchfluss.
  • Der Kühlwasserdurchfluss des Systems beträgt ≤ 50 l/min.
  • Der Kühlwasserdruck beträgt
Temperatursensor
  • Das externe Infrarot-Thermometer hat einen Temperaturbereich von 300-1400 ℃.
  • Genauigkeit der Temperaturregelung
Steuerungssystem
  • Siemens smart 200 PLC und Touchscreen-Steuerung werden verwendet.
  • Das System verfügt über eine Vielzahl von Programmen, die das automatische Gleichgewicht der Wachstumstemperatur, die genaue Kontrolle des Wachstumsluftdrucks, den automatischen Temperaturanstieg, den automatischen Temperaturabfall und andere Funktionen realisieren können.
  • Durch die Überwachung von Wasserdurchfluss, Temperatur, Druck und anderen Parametern kann ein stabiler Betrieb der Anlage und ein umfassender Schutz der Anlage erreicht werden, und die Zuverlässigkeit und Sicherheit des Betriebs kann durch funktionale Verriegelung gewährleistet werden.
Optionale Funktion
  • Zentrales Überwachungssystem
  • Substrat-Basisleistung

Der Vorteil von KINTEK MPCVD: Überlegene Diamantsynthese

Die MPCVD-Technologie von KINTEK bietet erhebliche Vorteile für die Diamantsynthese im Vergleich zu anderen Verfahren wie HFCVD (Hot Filament CVD) und DC-PJ CVD (Direct Current Plasma Jet CVD):

  • Hochreine Diamanten: MPCVD vermeidet die Verunreinigung von Diamanten durch Elemente wie heiße Drähte (wie bei HFCVD). In unserem System kommt die Plasmakugel nicht mit der Kavitätenwand in Berührung, was einen verunreinigungsfreien Wachstumsprozess gewährleistet und zu Diamanten von höherer Reinheit im Vergleich zu denen aus dem HPHT-Verfahren (High-Pressure High-Temperature) führt.
  • Vielseitige Gasverwendung: Ermöglicht die Verwendung mehrerer Gase (z. B. CH4, H2, Ar, O2, N2), um verschiedene industrielle Anforderungen zu erfüllen und die Eigenschaften der Diamanten anzupassen.
  • Stabile und präzise Steuerung: Ermöglicht eine gleichmäßige, kontinuierliche Einstellung der Mikrowellenleistung und eine stabile Steuerung der Reaktionstemperatur. Dadurch werden Probleme vermieden, wie z. B. das Abfallen von Kristallkeimen vom Substrat aufgrund von Lichtbogenbildung und Flammenausfall, wie sie manchmal bei der DC-PJ-CVD auftreten. Die Substrattemperatur wird durch die Plasmaposition präzise gesteuert und mit einem Thermoelement gemessen.
  • Großflächiges, stabiles Plasma: Die MPCVD-Methode erzeugt ein großflächiges, stabiles Entladungsplasma, was sie zur vielversprechendsten Diamantsynthesemethode für industrielle Anwendungen und Produktionserweiterungen macht.
  • Energieeffizient und kosteneffektiv für größere Diamanten: Der MPCVD-Produktionsprozess verbraucht in der Regel weniger Energie als HPHT und ermöglicht die Herstellung größerer, hochwertiger Diamanten zu potenziell niedrigeren Kosten.

Suchen Sie nach einer zuverlässigen und fortschrittlichen Lösung für die Diamantsynthese, die Reinheit und Leistung bietet? Fordern Sie ein Angebot für unser MPCVD-System an!

Arbeitsprinzip: Wie KINTEK MPCVD Diamanten züchtet

Die KINTEK MPCVD-Anlage steuert die Wachstumsumgebung genauestens. Der Prozess beginnt mit der Steuerung des Durchflusses der einzelnen Gaswege (Reaktionsgase wie CH4, H2, Ar, O2, N2 usw.) und des Drucks in der Kavität, wobei diese Gase unter bestimmten, stabilisierten Bedingungen in die Kavität eingeführt werden. Sobald der Luftstrom stabil ist, erzeugt der 6KW (oder einstellbare 1-10KW) Festkörpermikrowellengenerator Mikrowellen, die dann über einen Wellenleiter in den Hohlraum eingeleitet werden.

Unter dem Mikrowellenfeld geht das Reaktionsgas in einen Plasmazustand über und bildet einen Plasmaball, der über dem Diamantsubstrat schwebt. Die hohe Temperatur des Plasmas heizt das Substrat auf die für das Diamantenwachstum erforderliche Temperatur auf. Die im Hohlraum erzeugte überschüssige Wärme wird durch die Wasserkühlung effizient abgeführt.

Um optimale Wachstumsbedingungen während des MPCVD-Züchtungsprozesses von Einkristalldiamanten zu gewährleisten, werden Faktoren wie die Mikrowellenleistung, die Zusammensetzung der Gasquelle und der Kavitätsdruck genau eingestellt. Die Berührungslosigkeit der Plasmakugel mit der Kavitätenwand ist von entscheidender Bedeutung, da sie verhindert, dass Verunreinigungen den Diamantzüchtungsprozess verunreinigen, wodurch die Endqualität des Diamanten verbessert wird.

Anwendungen von mit KINTEK MPCVD gezüchteten Diamanten

Die einzigartigen Eigenschaften des Diamanten - extreme Härte, Steifigkeit, hohe Wärmeleitfähigkeit, geringe Wärmeausdehnung, Strahlungshärte und chemische Inertheit - machen ihn zu einem äußerst wertvollen Material. Während natürliche und HPHT-Diamanten aufgrund der Kosten, der Größe und der Kontrolle von Verunreinigungen an ihre Grenzen stoßen, eröffnet die MPCVD-Technologie von KINTEK ein breiteres Anwendungsspektrum:

  • Diamanten in Edelsteinqualität: MPCVD ist eine der wichtigsten Anlagen für die Züchtung von Diamanten und bietet einen vielversprechenden Weg zur Herstellung kostengünstiger, qualitativ hochwertiger großer Diamanten für den expandierenden Schmuckmarkt.
  • Halbleiterindustrie: Das Züchten von Diamantfilmen kann entweder mono- oder polykristallin sein. Sie wird in der Halbleiterindustrie häufig für großformatige Diamantsubstrate verwendet.
  • Schneid- und Bohrwerkzeuge: Die außergewöhnliche Härte von MPCVD-Diamanten macht sie ideal für die Diamantschneide- und Bohrwerkzeugindustrie.
  • Optik und moderne Werkstoffe: Für Anwendungen, die die einzigartigen optischen und thermischen Eigenschaften von Diamant nutzen.

Verglichen mit der HPHT-Methode für im Labor gezüchtete Diamanten ist die von KINTEK angewandte Mikrowellen-CVD-Methode vorteilhaft für die Züchtung großer Diamanten zu geringeren Kosten. Dies macht es zu einer idealen Lösung für Anwendungen im Bereich der Halbleiterdiamanten, der Optikdiamanten und der Erfüllung der Anforderungen des Marktes für große Schmuckdiamanten.

Partnerschaft mit KINTEK für maßgeschneiderte Hochtemperaturlösungen

Neben unseren spezialisierten MPCVD-Anlagen bietet KINTEK eine breite Produktpalette an, darunter Muffelöfen, Rohröfen, Drehrohröfen, andere Vakuum- und Atmosphärenöfen sowie verschiedene CVD/PECVD-Systeme. Unsere Hauptstärke liegt in unserer außergewöhnlichen Forschung und Entwicklung, unserer engagierten internen Fertigung und unseren tiefgreifenden Anpassungsfähigkeiten, die es uns ermöglichen, Lösungen genau auf Ihre spezifischen Versuchs- oder Produktionsanforderungen zuzuschneiden.

Haben Sie besondere Anforderungen oder ein anspruchsvolles Projekt? Wir sind auf die Entwicklung kundenspezifischer Lösungen spezialisiert. Setzen Sie sich noch heute mit KINTEK in Verbindung, um Ihre Anforderungen zu besprechen und zu erfahren, wie unsere fortschrittliche Ofentechnologie Ihre Arbeit unterstützen kann!

FAQ

Was Ist Das Prinzip Einer CVD-Anlage?

Beim Prinzip der chemischen Gasphasenabscheidung (Chemical Vapor Deposition, CVD) wird der Dampf gasförmiger oder flüssiger Reaktanten, die Filmelemente und andere notwendige Gase enthalten, in eine Reaktionskammer eingeleitet. Durch Zufuhr von Energie in Form von erhöhter Temperatur, Plasmaeinwirkung, Lichtstrahlung oder anderen Mitteln kommt es auf der Substratoberfläche zu chemischen Reaktionen, bei denen neue feste Stoffe entstehen, die sich als dünne Schichten abscheiden. Das Funktionsprinzip eines CVD-Ofens besteht darin, dass Vorläufergase in die Ofenkammer eingeleitet werden, wo diese Gase bei hohen Temperaturen in der Nähe der Substratoberfläche reagieren oder sich zersetzen. Das gewünschte Material scheidet sich als fester Film auf dem Substrat ab, während Nebenprodukte und ungenutzte Gase durch ein Abluft- oder Vakuumsystem abgeleitet werden.

Was Ist Das Prinzip Einer MPCVD-Anlage?

Eine MPCVD-Anlage (Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition) arbeitet mit einem Mikrowellengenerator, der durch Ionisierung eines Gasgemischs ein Plasma erzeugt. Dieses Plasma wird unter niedrigem Druck in einer Reaktionskammer untergebracht, in der das Substrat von einem Substrathalter gehalten wird. Zu den wichtigsten Komponenten gehören ein Mikrowellengenerator, eine Plasmakammer, ein Gaszufuhrsystem, ein Substrathalter und ein Vakuumsystem.

Wofür Wird Eine PECVD-Anlage Verwendet?

Eine PECVD-Maschine (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) wird in großem Umfang bei der Verarbeitung von Silizium und ähnlichen Materialien, in der Nanotechnologie, der Solarzellenproduktion und der Elektronik eingesetzt. Sie ist entscheidend für die Abscheidung dünner Schichten in Solarzellen und die Herstellung hochwertiger Komponenten für elektronische Geräte. Zu den Anwendungen gehören die Herstellung elektronischer Geräte (Isolierung von leitenden Schichten, Kondensatoren, Oberflächenpassivierung), Halbleiterbauelemente, druckbare Elektronik und der Schutz medizinischer Geräte.

Welche Vorteile Bietet Die Verwendung Einer CVD-Anlage?

Das CVD-Verfahren bietet eine hohe Reinheit, Gleichmäßigkeit und Konformität, so dass es sich für die Beschichtung komplexer Geometrien eignet. Es wird in Branchen wie der Halbleiterindustrie, der Luft- und Raumfahrt und der Biomedizin eingesetzt. Im Gegensatz zu PVD ist CVD nicht auf die Sichtlinie beschränkt, und die Beschichtung verbindet sich während der Reaktion mit der Oberfläche, wodurch eine hervorragende Haftung entsteht.

Was Sind Die Vorteile Einer MPCVD-Anlage?

MPCVD-Anlagen bieten mehrere Vorteile: Sie verhindern die Verunreinigung durch heiße Drähte (unpolare Entladung), ermöglichen die Verwendung mehrerer Gase, bieten eine stabile Steuerung der Reaktionstemperatur, ermöglichen großflächige stabile Plasmaentladungen und bieten eine präzise Steuerung der Schichtdicke, Reinheit und Kristallqualität. Darüber hinaus produzieren sie großflächige Diamantfilme, gewährleisten stabile Bedingungen, erhalten eine gleichbleibende Probenqualität und sind kostengünstig.

Was Sind Die Wichtigsten Typen Von PECVD-Anlagen?

PECVD-Maschinen gibt es in verschiedenen Ausführungen, darunter geneigte Rotations-PECVD-Röhrenöfen, CVD-Röhrenöfen mit geteilter Kammer und Vakuumstationen, RF-PECVD-Systeme und MPCVD-Maschinensysteme mit zylindrischem Resonator. Jeder Typ ist für bestimmte Anwendungen wie Halbleiterforschung, Dünnschichtabscheidung und Diamantwachstum im Labor ausgelegt.

Was Sind Die Anwendungen Einer CVD-Maschine?

CVD wird für verschiedene Anwendungen eingesetzt, darunter die Herstellung von Halbleiterbauelementen (z. B. Isolierschichten aus Siliziumnitrid), optischen Beschichtungen, Schutzschichten und modernen Materialien wie Graphen und Kohlenstoff-Nanoröhren, die einzigartige elektrische, thermische und mechanische Eigenschaften aufweisen. Es wird auch eingesetzt, um konforme Schichten abzuscheiden und Substratoberflächen auf eine Weise zu verändern, die mit herkömmlichen Techniken nicht möglich ist. Zu den Anwendungen gehören die Abscheidung von Atomschichten, integrierte Schaltkreise, photovoltaische Geräte, verschleißfeste Beschichtungen, Polymerbeschichtungen mit besonderen Eigenschaften, metallorganische Gerüste für die Gassensorik und Membranbeschichtungen für die Wasseraufbereitung.

Was Sind Die Wichtigsten Anwendungen Von MPCVD-Maschinen?

MPCVD-Anlagen werden in erster Linie für die Synthese von hochreinem, im Labor gezüchtetem Diamant, einschließlich Diamantfilmen und anderen fortschrittlichen Materialien, eingesetzt. Ihre Anwendungen erstrecken sich auf die Halbleiterforschung, die Optik und MEMS (mikroelektromechanische Systeme), da sie in der Lage sind, hochwertige, homogene Schichten mit präziser Kontrolle herzustellen.

Wie Funktioniert Eine PECVD-Anlage?

Bei einer PECVD-Anlage wird das Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung durch den Einsatz eines Plasmas verbessert. Abscheideraten und Schichteigenschaften (z. B. Dicke, Härte, Brechungsindex) werden durch die Einstellung von Parametern wie Gasdurchsatz, Betriebstemperatur und Plasmabedingungen gesteuert. Das Plasma ermöglicht die Feinabstimmung von Materialeigenschaften wie Dichte, Reinheit und Rauheit, so dass hochwertige dünne Schichten bei niedrigeren Substrattemperaturen erzeugt werden können.

Was Sind Die Wichtigsten Merkmale Einer CVD-Anlage?

Zu den wichtigsten Merkmalen eines CVD-Ofens gehören hohe Temperaturen (in der Regel von 200 °C bis über 1500 °C), eine präzise Steuerung des Gasflusses, eine kontrollierte Atmosphäre (Vakuum, Atmosphärendruck oder Niederdruck), eine gleichmäßige Erwärmung für eine gleichmäßige Dünnschichtabscheidung und ein effizientes Abgassystem zur Entfernung von Nebenprodukten und nicht umgesetzten Gasen. Zu den wichtigsten Merkmalen eines CVD-Beschichtungsprozesses gehört die Anwendung bei erhöhten Temperaturen, um die Reaktion zu erleichtern, in der Regel unter Vakuum. Verunreinigungen müssen vor der Beschichtung von der Oberfläche des Teils entfernt werden.

Was Sind Die Hauptbestandteile Einer MPCVD-Anlage?

Zu den Hauptbestandteilen einer MPCVD-Anlage gehören ein Mikrowellengenerator (zur Erzeugung des Plasmas), eine Reaktionskammer (zur Aufnahme des Substrats und des Gasgemischs unter niedrigem Druck), ein Substrathalter (zum Halten des Substrats während der Abscheidung), ein Gaszufuhrsystem (zum Einleiten und Steuern des Gasgemischs) und ein Vakuumsystem (zur Aufrechterhaltung der erforderlichen Niederdruckumgebung).

Was Sind Die Wichtigsten Merkmale Einer PECVD-Anlage?

Zu den wichtigsten Merkmalen einer PECVD-Anlage gehören eine universelle Basiskonsole mit elektronischen Untersystemen, eine PECVD-Prozesskammer mit einem Pumpanschluss, beheizte obere und untere Elektroden, Software für die Parameteranpassung und ein Gasbehälter mit massenflussgesteuerten Gasleitungen. Das System umfasst in der Regel eine Kammer, Vakuumpumpe(n) und ein Gasverteilungssystem, wobei die Konfigurationen je nach Stromquelle, Gasart und Drucksensoren variieren.

Welche Arten Von CVD-Anlagen Gibt Es?

Es gibt verschiedene Arten von CVD-Anlagen, darunter zylindrische Resonator-MPCVD-Maschinensysteme für das Diamantwachstum im Labor, maßgeschneiderte, vielseitige CVD-Röhrenöfen für die chemische Gasphasenabscheidung, PECVD-Röhrenöfen mit Flüssigkeitsbegasern, Vakuum-Heißpressenöfen, geneigte Rotations-Röhrenöfen für die plasmaunterstützte chemische Abscheidung (PECVD), CVD-Röhrenöfen mit geteilter Kammer und Vakuumstationen sowie RF-PECVD-Systeme für die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung im Hochfrequenzbereich. Jeder Typ ist für bestimmte Anwendungen konzipiert und bietet einzigartige Merkmale.

Wie Verbessert Eine MPCVD-Anlage Die Energieeffizienz?

Eine MPCVD-Anlage steigert die Energieeffizienz durch ihren elektrodenlosen Prozess, der Verunreinigungen und Energieverluste reduziert. Die Erzeugung des Mikrowellenplasmas ist hocheffizient, und der modulare und skalierbare Aufbau des Systems ermöglicht eine optimierte Energienutzung für verschiedene industrielle Anwendungen.

Welche Vorteile Bietet Die Verwendung Einer PECVD-Anlage?

PECVD-Anlagen bieten eine Reihe von Vorteilen, darunter schnelle Abscheidungsraten (z. B. 160-mal schneller für Siliziumnitrid im Vergleich zur CVD), die Möglichkeit, durch Anpassung der Plasmaparameter und der Gaszusammensetzung Schichten mit unterschiedlichen Eigenschaften zu erzeugen, qualitativ hochwertige und gleichmäßig dicke Schichten, gute Haftung, geringere Gefahr der Rissbildung und Eignung für komplexe Oberflächen. Außerdem bieten sie eine hohe Lösungsmittel- und Korrosionsbeständigkeit sowie chemische und thermische Stabilität.

Warum Wird MPCVD Für Das Wachstum Von Diamanten Bevorzugt?

Das MPCVD-Verfahren wird für das Diamantwachstum bevorzugt, da es eine hohe Dichte geladener Teilchen und reaktiver Spezies bietet, die Abscheidung großflächiger Diamantschichten bei niedrigeren Drücken ermöglicht und eine bessere Homogenität der gewachsenen Schichten gewährleistet. Diese Merkmale führen zu hochreinen, qualitativ hochwertigen Diamanten mit präziser Kontrolle über ihre Eigenschaften.

Welche Materialien Können Mit Einer PECVD-Anlage Abgeschieden Werden?

Mit PECVD-Anlagen kann eine Vielzahl von Materialien abgeschieden werden, darunter Siliziumnitrid (SiN) und Siliziumkarbid (SiC), die besonders für Halbleiter- und Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen geeignet sind. Diese Maschinen sind vielseitig und können zur Herstellung von Dünnschichten mit maßgeschneiderten Eigenschaften für spezifische Industrie- und Forschungsanforderungen eingesetzt werden.

Warum Ist PECVD Anderen Abscheidungsmethoden Vorzuziehen?

Die PECVD-Methode ist anderen Abscheidungsmethoden vorzuziehen, da sie die Abscheidung bei niedrigeren Substrattemperaturen ermöglicht, eine gute Stufenabdeckung bietet und eine sehr gleichmäßige Schichtabscheidung ermöglicht. Außerdem lassen sich Materialeigenschaften wie Brechungsindex, Spannung und Härte hervorragend steuern, so dass es sich ideal für Anwendungen eignet, die präzise Dünnschichteigenschaften erfordern.
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4.9

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5

This machine is a game-changer! The diamond growth speed is phenomenal, and the quality is unmatched.

Elara Voss

4.8

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5

Incredible value for money. The precision and durability of this system are top-notch.

Rohan Mehta

4.7

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Fast delivery and easy setup. The technological advancement in this machine is mind-blowing.

Sienna Khalid

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The consistency in diamond quality is impressive. Worth every penny!

Lucian Berg

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Highly efficient and reliable. Perfect for lab diamond growth with minimal maintenance.

Ananya Rao

4.7

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5

The cylindrical resonator design is brilliant. Delivers flawless diamonds every time.

Dante Moretti

4.9

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Exceptional performance! The machine’s durability and advanced tech make it a must-have.

Zara Al-Farsi

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Superb investment. The speed and quality of diamond growth exceed expectations.

Kai Zhang

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Love the precision! This machine has revolutionized our lab’s diamond production.

Freya Olsen

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Outstanding build quality. The diamonds produced are of impeccable clarity and size.

Rafael Costa

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5

Fast, efficient, and reliable. The best MPCVD system we’ve used so far.

Mei Ling

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5

The technology behind this machine is cutting-edge. Highly recommend for any lab.

Elias Van Dijk

4.9

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5

Perfect for high-volume diamond growth. The quality is consistently excellent.

Aisha Nkosi

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A stellar purchase! The machine’s performance and durability are unmatched.

Mateo Silva

4.7

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Incredibly advanced and user-friendly. Delivers perfect diamonds with ease.

Yuki Tanaka

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Zylindrisches Resonator-MPCVD-Maschinensystem für die Diamantzüchtung im Labor

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KT-17A Ofen mit kontrollierter Atmosphäre: Präzises Heizen bei 1700°C mit Vakuum- und Gassteuerung. Ideal für Sinterung, Forschung und Materialverarbeitung. Jetzt erforschen!

Ofen mit kontrollierter inerter Stickstoff-Wasserstoff-Atmosphäre

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Entdecken Sie KINTEKs Wasserstoff-Atmosphären-Ofen für präzises Sintern und Glühen in kontrollierter Umgebung. Bis zu 1600°C, Sicherheitsmerkmale, anpassbar.

9MPa Luftdruck Vakuum Wärmebehandlungs- und Sinterofen

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