Produkte Hochtemperaturöfen MPCVD 915MHz MPCVD Diamant Maschine Mikrowellen Plasma Chemische Gasphasenabscheidung System Reaktor
915MHz MPCVD Diamant Maschine Mikrowellen Plasma Chemische Gasphasenabscheidung System Reaktor

MPCVD

915MHz MPCVD Diamant Maschine Mikrowellen Plasma Chemische Gasphasenabscheidung System Reaktor

Artikelnummer : MP-CVD-101

Preis variiert je nach Spezifikationen und Anpassungen


Ausgangsleistung
3-75kW stufenlos einstellbar
Durchmesser des Probentischs
≥200mm
Betriebsfrequenz
915±15MHz
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KINTEK MPCVD-Diamantmaschine: Revolutionierung der Diamantsynthese

Die KINTEK MPCVD-Diamantsynthesemaschine nutzt die Mikrowellen-Plasma-Chemie-Gasphasenabscheidung (MPCVD), um hochwertige Diamanten mit bisher unerreichter Geschwindigkeit und Präzision zu synthetisieren. Diese fortschrittliche Technologie ermöglicht ein schnelleres Kristallwachstum, eine höhere Produktionskapazität und eine bessere Qualität der Diamanten im Vergleich zu herkömmlichen Methoden.

Visuelle Übersicht & Schlüsselkomponenten

Einzelheiten zu MPCVD

MPCVD-Einzelheiten

Erschließen Sie mit KINTEK eine überlegene Diamantproduktion

Unsere MPCVD-Diamantsynthesemaschine bietet signifikante Vorteile für Ihre Diamantsyntheseanforderungen:

  • Beschleunigtes Kristallwachstum: Erzielen Sie Wachstumsgeschwindigkeiten, die 10 bis 100 Mal schneller sind als bei herkömmlichen Methoden, was die Produktionseffizienz erheblich steigert.
  • Erhöhte Produktionskapazität: Synthetisieren Sie größere Chargen von Diamanten in einem einzigen Durchgang und maximieren Sie so Ihren Output.
  • Außergewöhnliche Diamantqualität: Produzieren Sie Diamanten mit höherer Härte und Zähigkeit als natürliche Diamanten und gewährleisten Sie so überlegene Haltbarkeit und Leistung.
  • Vielfältige Farboptionen: Erzeugen Sie Diamanten in einer Vielzahl von Farben, darunter weiß, gelb, rosa und blau, um den unterschiedlichen Marktanforderungen und ästhetischen Vorlieben gerecht zu werden.
  • Unerreichte Reinheit: Erzielen Sie einen höheren Reinheitsgrad als bei natürlichen Diamanten vom Typ II, was zu außergewöhnlichen optischen Eigenschaften und zur Eignung für fortschrittliche Anwendungen führt.
  • Maßgeschneidert für Ihre Bedürfnisse: Profitieren Sie von der Anpassung an verschiedene Stilrichtungen. Wir können Designs an spezifische Marktanforderungen und einzigartige Versuchsaufbauten anpassen.

Die Wissenschaft hinter dem Glitzern: Fortschrittliche MPCVD-Technologie

Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition (MPCVD) ist ein hochentwickelter Prozess, bei dem eine kontinuierliche Mikrowellenquelle ein hochreaktives Plasma erzeugt und aufrechterhält. Dieses Plasma setzt sich aus reaktionsfähigen Chemikalien (in der Regel Methan und Wasserstoff) und wichtigen Katalysatoren zusammen, die dann zur Kultivierung neuer Diamantschichten auf einem mit Diamanten besetzten Substrat verwendet werden.

Die MPCVD-Diamantanlage von KINTEK ermöglicht eine präzise Steuerung der Mikrowellenleistung und der Reaktionstemperatur, so dass die bei anderen CVD-Verfahren üblichen Probleme vermieden werden. Durch die Optimierung des Designs der Reaktionskammer und der Prozessparameter wird eine stabile Plasmaentladung erreicht - ein entscheidender Faktor für die konstante Herstellung hochwertiger, großformatiger einkristalliner Diamanten.

Vielseitige Anwendungen in verschiedenen Branchen

Die einzigartigen Eigenschaften der mit unseren MPCVD-Maschinen hergestellten Diamanten - darunter außergewöhnliche Härte, Steifigkeit, hohe Wärmeleitfähigkeit, geringe Wärmeausdehnung, Strahlungshärte und chemische Inertheit - machen sie in verschiedenen Branchen von unschätzbarem Wert:

  • Edelsteinindustrie: Die wichtigste Ausrüstung für die Züchtung von hochwertigen, großformatigen Diamanten-Edelsteinen.
  • Moderne Werkstoffe und Halbleiter: Herstellung von Diamantfilmen für verschiedene Anwendungen, einschließlich großformatiger Diamantsubstrate für die Halbleiterindustrie und Hochleistungs-Diamantschneid- oder -bohrwerkzeuge.
  • Industrielle Werkzeuge: Entwicklung von Diamantbeschichtungen für Schneidewerkzeuge, Bohrer und andere industrielle Anwendungen, bei denen extreme Härte und Haltbarkeit von größter Bedeutung sind.
  • Biomedizinischer Sektor: Herstellung von biokompatiblen und haltbaren Diamantbeschichtungen für medizinische Implantate, wie künstliche Gelenke und Zahnimplantate.
  • Optoelektronik: Herstellung von Diamantfenstern und -substraten für Hochleistungslaser, Detektoren und andere optoelektronische Geräte, bei denen hohe Wärmeleitfähigkeit und geringe Wärmeausdehnung entscheidend sind.

Technische Daten

Mikrowellensystem (je nach optionaler Stromversorgung)

  • Betriebsfrequenz:915±15MHz
  • Ausgangsleistung:3-75kW stufenlos einstellbar
  • Kühlwasserdurchfluss:120/min
  • Stehwellenkoeffizient des Systems: VSWR≤1,5
  • Mikrowellenleckage:

Vakuumsystem und Reaktionskammer

  • Leckagerate
  • Der Enddruck beträgt weniger als 0,7Pa (diese Maschine wird mit einem importierten Pirani-Vakuummeter geliefert)
  • Der Druckanstieg im Hohlraum darf nach 12 Stunden Druckaufrechterhaltung 50Pa nicht überschreiten.
  • Arbeitsmodus der Reaktionskammer: TM021 oder TM023 Modus
  • Hohlraumtyp: gekühlter zylindrischer Hohlraum, kann Leistung bis zu 75KW tragen, hohe Reinheit, Steinringdichtung.
  • Einlass-Methode: Top Sprinklerkopf Einlass.
  • Beobachtung Temperaturmessung Fenster: 8 Beobachtungslöcher, gleichmäßig horizontal verteilt.
  • Probenentnahme: Probenentnahmeöffnung unten

Probenhalter-System

  • Probenbühnendurchmesser ≥200mm, Einkristall Nutzfläche ≥130mm, Die Nutzfläche von polykristallinen ist ≥200mm. Substratplattform wassergekühlte Sandwich-Struktur, vertikal gerade nach oben und unten.

Gasanlage

  • Vollmetall geschweißte Gasplatte 5-7 Gasleitungen
  • Alle internen Luftkreise des Geräts verwenden Schweiß- oder VCR-Anschlüsse.

Kühlung des Systems

  • 3-Wege-Wasserkühlung, Echtzeit-Überwachung von Temperatur und Durchfluss.
  • Systemkühlwasserdurchfluss 120 l/min, Kühlwasserdruck

Verfahren zur Temperaturmessung

  • Externes Infrarot-Thermometer, Temperaturbereich 3001400 M

SL901A Geräteschlüssel Teileliste

Seriennummer Name des Moduls Bemerkung
1 Mikrowellen-Stromversorgung Standard-Inlandsmagnetron: Yingjie Electric / Distinguish-Stromversorgung Inländische Halbleiterquelle: Watson (+30.000) Importiertes Magnetron: MKS/Pastoral (+100.000)
2 Hohlleiter, drei Stifte, Modenwandler, oberer Resonator Selbst gemacht
3 Vakuum-Reaktionskammer (obere Kammer, untere Kammer, Anschlüsse) Selbst hergestellt
4 Infrarot-Thermometer, optische Verschiebungselemente, Halterungen Infrarot-Thermometer, optische Verschiebungskomponenten, Fuji Gold Siemens + Schneider Halterungen
5 Wasserkühlung von Komponenten der Tischbewegung (Zylinder, Werkstücke usw.)
6 Keramisches Dünnschicht-Vakuummeter, Pirani-Vakuummeter Inficon
7 Komponenten für Vakuumventile (Ultrahochvakuum-Schieberventil, pneumatisches Präzisionsventil*2, elektromagnetisches Vakuumdifferenzialventil) Fujikin + Zhongke + Himat
8 Vakuumpumpe und Anschlussleitungen, T-Stück, KF25-Faltenbalg*2, Adapter Pumpe: Flyover 16L
9 Metall-Mikrowellen-Dichtungsring*2; Metall-Vakuum-Dichtungsring*1; Quarzplatte Quarz: Shanghai FeilihuaSemiconductor Grade High Purity Quartz
10 Komponenten für zirkulierendes Wasser (Gelenke, Umlenkblöcke, Durchflussdetektoren) Japanisches SMC/CKD
11 Pneumatisches Teil (CKD-Filter, Airtac-Mehrwege-Magnetventil, Rohrverbindungen und Adapter)
12 Gasanschluss, EP-Gasleitung, VCR-Anschluss, Filter 0,0023μm *1, Filter 10μm*2 Fujikin
13 Maschinengehäuse, Tisch aus rostfreiem Stahl, Universalräder, Füße, Befestigungsschrauben für die Halterung, usw. Sonderanfertigung
14 Gasdurchflussmesser*6 (einschließlich einer Druckregelung) Standard Sieben-Sterne, optional Fuji Gold ( +34.000 ) / Alicat (42.000)
15 Gasplattenverarbeitung (5-Wege-Gas, Filter*5, Pneumatikventil*5, Handventil*6, Rohrleitungsschweißen) Fuji Gold
16 Automatische PLC-Steuerung Siemens und Schneider
17 Molybdän-Tisch

Partnerschaft mit KINTEK für Ihren Bedarf an hochentwickelten Materialien

KINTEK hat sich auf fortschrittliche Hochtemperaturofenlösungen wie die MPCVD-Diamantmaschine spezialisiert und setzt dabei auf außergewöhnliche F&E und eigene Fertigung. Wir sind stolz auf unsere ausgeprägte Fähigkeit zur kundenspezifischen Anpassung, mit der wir sicherstellen, dass unsere Systeme, einschließlich dieser fortschrittlichen Diamantsyntheseanlage, genau Ihren einzigartigen Versuchs- und Produktionsanforderungen entsprechen.

Sind Sie bereit, Ihre Diamantsynthese zu verbessern? Die MPCVD-Diamantsyntheseanlage von KINTEK bietet unvergleichliche Präzision und Effizienz. Setzen Sie sich noch heute mit uns in Verbindung, um Ihre spezifischen Anforderungen zu besprechen und zu erfahren, wie unsere Technologie Ihre Arbeitsabläufe verbessern kann. Füllen Sie das untenstehende Formular aus oder klicken Sie hier, um ein Angebot oder eine Beratung anzufordern!

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Unsere Kooperationspartner

FAQ

Was Ist Das Prinzip Einer MPCVD-Anlage?

Eine MPCVD-Anlage (Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition) arbeitet mit einem Mikrowellengenerator, der durch Ionisierung eines Gasgemischs ein Plasma erzeugt. Dieses Plasma wird unter niedrigem Druck in einer Reaktionskammer untergebracht, in der das Substrat von einem Substrathalter gehalten wird. Zu den wichtigsten Komponenten gehören ein Mikrowellengenerator, eine Plasmakammer, ein Gaszufuhrsystem, ein Substrathalter und ein Vakuumsystem.

Was Sind Die Vorteile Einer MPCVD-Anlage?

MPCVD-Anlagen bieten mehrere Vorteile: Sie verhindern die Verunreinigung durch heiße Drähte (unpolare Entladung), ermöglichen die Verwendung mehrerer Gase, bieten eine stabile Steuerung der Reaktionstemperatur, ermöglichen großflächige stabile Plasmaentladungen und bieten eine präzise Steuerung der Schichtdicke, Reinheit und Kristallqualität. Darüber hinaus produzieren sie großflächige Diamantfilme, gewährleisten stabile Bedingungen, erhalten eine gleichbleibende Probenqualität und sind kostengünstig.

Was Sind Die Wichtigsten Anwendungen Von MPCVD-Maschinen?

MPCVD-Anlagen werden in erster Linie für die Synthese von hochreinem, im Labor gezüchtetem Diamant, einschließlich Diamantfilmen und anderen fortschrittlichen Materialien, eingesetzt. Ihre Anwendungen erstrecken sich auf die Halbleiterforschung, die Optik und MEMS (mikroelektromechanische Systeme), da sie in der Lage sind, hochwertige, homogene Schichten mit präziser Kontrolle herzustellen.

Was Sind Die Hauptbestandteile Einer MPCVD-Anlage?

Zu den Hauptbestandteilen einer MPCVD-Anlage gehören ein Mikrowellengenerator (zur Erzeugung des Plasmas), eine Reaktionskammer (zur Aufnahme des Substrats und des Gasgemischs unter niedrigem Druck), ein Substrathalter (zum Halten des Substrats während der Abscheidung), ein Gaszufuhrsystem (zum Einleiten und Steuern des Gasgemischs) und ein Vakuumsystem (zur Aufrechterhaltung der erforderlichen Niederdruckumgebung).

Wie Verbessert Eine MPCVD-Anlage Die Energieeffizienz?

Eine MPCVD-Anlage steigert die Energieeffizienz durch ihren elektrodenlosen Prozess, der Verunreinigungen und Energieverluste reduziert. Die Erzeugung des Mikrowellenplasmas ist hocheffizient, und der modulare und skalierbare Aufbau des Systems ermöglicht eine optimierte Energienutzung für verschiedene industrielle Anwendungen.

Warum Wird MPCVD Für Das Wachstum Von Diamanten Bevorzugt?

Das MPCVD-Verfahren wird für das Diamantwachstum bevorzugt, da es eine hohe Dichte geladener Teilchen und reaktiver Spezies bietet, die Abscheidung großflächiger Diamantschichten bei niedrigeren Drücken ermöglicht und eine bessere Homogenität der gewachsenen Schichten gewährleistet. Diese Merkmale führen zu hochreinen, qualitativ hochwertigen Diamanten mit präziser Kontrolle über ihre Eigenschaften.
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915MHz MPCVD Diamant Maschine Mikrowellen Plasma Chemische Gasphasenabscheidung System Reaktor

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