Der 3-Zonen-Rohrofen ist ein vielseitiges Heizgerät, das für die präzise Wärmebehandlung in Forschung und Industrie entwickelt wurde.Seine segmentierte Heizkonstruktion ermöglicht eine unabhängige Temperaturregelung über drei Zonen hinweg, was eine gleichmäßige Beheizung, komplexe thermische Gradienten und eine flexible Programmierung ermöglicht.Zu den Haupteinsatzgebieten gehören das Glühen und die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) bei Temperaturen unter 1000 °C, mit der Möglichkeit der Gaszufuhr und der Handhabung von Proben bis zu 60 mm.Diese Geräte eignen sich hervorragend für die Schaffung maßgeschneiderter thermischer Umgebungen für die Materialwissenschaft, die Halbleiterverarbeitung und fortschrittliche Fertigungsverfahren, bei denen räumliche Temperaturschwankungen entscheidend sind.
Die wichtigsten Punkte erklärt:
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Multi-Zonen-Temperaturregelung
- Der 3-Zonen-Rohrofen verfügt über drei unabhängig voneinander gesteuerte Heizzonen entlang seiner Länge
- Ermöglicht die Erzeugung präziser Temperaturgradienten (z. B. 50°C/cm) für spezielle Wärmeprofile
- Ermöglicht die gleichzeitige Erzeugung verschiedener Temperaturen (z. B. 800°C/600°C/400°C) in einem kontinuierlichen Prozess
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Kernanwendungen
- Glühen :Spannungsabbau und Änderung der Mikrostruktur von Metallen, Keramiken und Halbleitern
- Chemische Gasphasenabscheidung :Dünnschichtwachstum mit Gasphasen-Precursoren unter kontrollierten Atmosphären
- Materialforschung :Untersuchung der Phasenübergänge, des Sinterverhaltens und der thermischen Zersetzung
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Betriebliche Vorteile
- Geeignet für Proben mit einem Durchmesser von ≤60 mm und gleichmäßiger Erwärmung
- Integrierter Gasverteiler unterstützt inerte (N₂, Ar) oder reaktive (H₂, O₂) Atmosphären
- Digitale Steuerungen ermöglichen programmierbare Rampen-/Weichenzyklen in jeder Zone
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Technische Daten
- Maximale Temperatur:Normalerweise 1000-1200°C (variiert je nach Modell)
- Aufheizgeschwindigkeit:Einstellbar, in der Regel 1-20°C/Minute
- Temperaturgleichmäßigkeit: ±1-5°C innerhalb jeder Zone
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Vergleich mit anderen Öfen
- Erlaubt im Gegensatz zu Ein-Zonen-Öfen räumliche thermische Variationen
- Im Vergleich zu Muffelöfen bietet eine bessere Kontrolle der Atmosphäre
- Flexibler als Drehrohröfen für statische Probenverarbeitung
Haben Sie schon einmal darüber nachgedacht, wie die unabhängige Zonensteuerung neue Versuchspläne ermöglichen könnte?Mit dieser Funktion können Forscher industrielle thermische Prozesse (wie z. B. Durchlauföfen) simulieren und gleichzeitig die Präzision im Labor beibehalten.Die Fähigkeit, kontrollierte Temperaturgradienten zu erzeugen, macht sie besonders wertvoll für Diffusionsstudien, Grenzflächentechnik und die Entwicklung von Gradientenmaterialien.
Zusammenfassende Tabelle:
| Merkmal | Nutzen |
|---|---|
| Multi-Zonen-Temperaturregelung | Ermöglicht präzise thermische Gradienten und gleichzeitige unterschiedliche Temperaturen |
| Kernanwendungen | Glühen, CVD, Materialforschung mit kontrollierten Atmosphären |
| Betriebliche Vorteile | Gleichmäßige Erwärmung, Unterstützung von Gasverteilern, programmierbare Zyklen |
| Technische Daten | Bis zu 1200°C, einstellbare Heizraten, ±1-5°C Gleichmäßigkeit pro Zone |
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