Mehrzonen-Rohröfen sind fortschrittliche thermische Verarbeitungssysteme, die für Präzisionsheizanwendungen in mehreren unabhängig voneinander geregelten Temperaturzonen ausgelegt sind.Diese Öfen kombinieren Hochtemperaturfähigkeiten (bis zu 1760 °C) mit außergewöhnlicher Temperaturgleichmäßigkeit und programmierbarer Steuerung, was sie für Forschung, Halbleiterherstellung und fortschrittliche Materialverarbeitung unverzichtbar macht.Ihre einzigartige Zonenarchitektur ermöglicht gleichzeitige thermische Behandlungen bei verschiedenen Temperaturen in einer einzigen Ofenkammer, wodurch der Probentransfer entfällt und die Prozesskonsistenz verbessert wird.Mit ihren robusten Sicherheitsmerkmalen und flexiblen Stromversorgungskonfigurationen erfüllen diese Systeme die unterschiedlichsten Industrie- und Laboranforderungen, bei denen kontrollierte Temperaturgradienten entscheidend sind.
Die wichtigsten Punkte erklärt:
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Multi-Zonen-Temperaturregelung
- Unabhängige Master/Slave-Regler für jede Heizzone
- Gleichzeitiges Sintern/Verarbeiten bei unterschiedlichen Temperaturen (z.B. 300°C/600°C/900°C Zonen)
- Eliminiert Übertragungsfehler zwischen Ein-Zonen-Öfen
- Entscheidend für die Diffusion von Halbleiterdotierstoffen und die Synthese von Nanomaterialien
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Leistung bei hohen Temperaturen
- Maximale Betriebstemperatur von 1760°C
- Beheizte Rohrlängen typischerweise 27 Zoll (anpassbar)
- Heizelemente aus Siliziumkarbid oder Molybdän für effiziente Widerstandsheizung
- Vergleichbar mit Atmosphären-Retortenöfen in thermischen Fähigkeiten
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Präzise Programmierung
- Stufenprogrammierung für komplexe thermische Profile
- ±1°C Temperaturgleichmäßigkeit innerhalb der Zonen
- Übertemperaturschutz mit unabhängigen Sensoren
- Thermoelement-Bruchalarm für Prozesssicherheit
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Industrietaugliche Konstruktion
- 220V einphasig oder 415V dreiphasig als Option
- Prozessrohre aus Quarz/Tonerde (optional)
- Konzipiert für den Dauerbetrieb in Labors/Fabriken
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Vielfältige Anwendungen
- Materialprüfung (Phasenübergänge, Kriechverhalten)
- Halbleiterkristallwachstum
- Keramische Sinterung mit kontrollierten Gradienten
- Synthese von Nanomaterialien, die eine stufenweise Erwärmung erfordern
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Betriebliche Vorteile
- 30-50% schnellerer Durchsatz im Vergleich zu Systemen mit nur einer Zone
- Geringerer Energieverbrauch durch zonenweise Aktivierung
- Kompatibel mit inerten/reaktiven Atmosphären
Diese Eigenschaften machen Mehrzonen-Rohröfen zu vielseitigen Werkzeugen, bei denen sich die Steuerung des Temperaturgradienten direkt auf die Materialeigenschaften auswirkt - von der Verfestigung von Metalllegierungen bis zur Optimierung von Photovoltaikmaterialien.Ihre Programmierbarkeit ermöglicht es den Forschern, reale thermische Bedingungen zu simulieren und gleichzeitig die Präzision des Labors beizubehalten.
Zusammenfassende Tabelle:
| Merkmal | Beschreibung |
|---|---|
| Temperaturregelung für mehrere Zonen | Unabhängige Regler für jede Zone, die eine gleichzeitige Verarbeitung bei unterschiedlichen Temperaturen ermöglichen. |
| Leistung bei hohen Temperaturen | Bis zu 1760°C mit anpassbaren Heizrohrlängen und effizienten Heizelementen. |
| Präzise Programmierung | Schrittweise Programmierung, ±1°C Gleichmäßigkeit und Sicherheitsfunktionen wie Übertemperaturschutz. |
| Industrietaugliche Konstruktion | Robuste Konstruktion mit flexiblen Stromversorgungsoptionen und Fähigkeit zum Dauerbetrieb. |
| Vielfältige Anwendungen | Ideal für Materialtests, Halbleiterwachstum, Keramiksintern und die Synthese von Nanomaterialien. |
| Betriebliche Vorteile | Schnellerer Durchsatz, geringerer Energieverbrauch und Kompatibilität mit inerten/reaktiven Atmosphären. |
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